文献
J-GLOBAL ID:201902265016276850
整理番号:19A2268992
非晶質シリコンナノカンチレバーのElectronビーム強化クリープ変形【JST・京大機械翻訳】
Electron-beam enhanced creep deformation of amorphous silicon nano-cantilever
著者 (4件):
Hirakata Hiroyuki
(Department of Mechanical Engineering and Science, Kyoto University, Kyoto-daigaku-Katsura, Nishikyo-ku, Kyoto 615-8540, Japan)
,
Konishi Kenta
(Department of Mechanical Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan)
,
Kondo Toshiyuki
(Department of Mechanical Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan)
,
Minoshima Kohji
(Department of Mechanical Engineering, Osaka University, 2-1 Yamadaoka, Suita, Osaka 565-0871, Japan)
資料名:
Journal of Applied Physics
(Journal of Applied Physics)
巻:
126
号:
10
ページ:
105102-105102-10
発行年:
2019年
JST資料番号:
C0266A
ISSN:
0021-8979
CODEN:
JAPIAU
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)