文献
J-GLOBAL ID:201902266000583305
整理番号:19A1042778
Si含有CrAlN膜の機械的,トライボロジー的および酸化特性【JST・京大機械翻訳】
Mechanical, tribological, and oxidation properties of Si-containing CrAlN films
著者 (2件):
Kitamika Y.
(Graduate School of Science & Engineering, Saga University, 1 Honjyo-machi, Saga, 840-8502, Japan)
,
Hasegawa H.
(Graduate School of Science & Engineering, Saga University, 1 Honjyo-machi, Saga, 840-8502, Japan)
資料名:
Vacuum
(Vacuum)
巻:
164
ページ:
29-33
発行年:
2019年
JST資料番号:
E0347A
ISSN:
0042-207X
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)