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J-GLOBAL ID:201902271907209836   整理番号:19A0645574

スパッタリング法により堆積したゲート絶縁体としての高k SrTa_2O_6を用いた非晶質InGaZnO薄膜トランジスタの改良【JST・京大機械翻訳】

Improvement of Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistor Using High-k SrTa2O6 as Gate Insulator Deposited by Sputtering Method
著者 (8件):
Takahashi Takanori
(National Institute of Technology, Tsuruoka College 104 Sawada, Tsuruoka, Yamagata 997-8511, Japan)
Hoga Takeshi
(National Institute of Technology, Tsuruoka College 104 Sawada, Tsuruoka, Yamagata 997-8511, Japan)
Miyanaga Ryoko
(Nara Institute of Science and Technology 8916-5 Takayama-cho, Ikoma, Nara 630-0192, Japan)
Oikawa Kento
(Nara Institute of Science and Technology 8916-5 Takayama-cho, Ikoma, Nara 630-0192, Japan)
Fujii Mami N.
(Nara Institute of Science and Technology 8916-5 Takayama-cho, Ikoma, Nara 630-0192, Japan)
Ishikawa Yasuaki
(Nara Institute of Science and Technology 8916-5 Takayama-cho, Ikoma, Nara 630-0192, Japan)
Uraoka Yukiharu
(Nara Institute of Science and Technology 8916-5 Takayama-cho, Ikoma, Nara 630-0192, Japan)
Uchiyama Kiyoshi
(National Institute of Technology, Tsuruoka College 104 Sawada, Tsuruoka, Yamagata 997-8511, Japan)

資料名:
Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science  (Physica Status Solidi. A. Applications and Materials Science)

巻: 216  号:ページ: e1700773  発行年: 2019年 
JST資料番号: D0774A  ISSN: 1862-6300  CODEN: PSSABA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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