文献
J-GLOBAL ID:201902272223114839
整理番号:19A2607556
RFスパッタしたアゾ薄膜の特性に及ぼす基板粗さの影響【JST・京大機械翻訳】
The effect of substrate roughness on the properties of RF sputtered AZO thin film
著者 (4件):
Hamada Kairi
(Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan)
,
Ogawa Takaya
(Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan)
,
Okumura Hideyuki
(Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan)
,
Ishihara Keiichi N.
(Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan)
資料名:
MRS Communications
(MRS Communications)
巻:
9
号:
2
ページ:
697-701
発行年:
2019年
JST資料番号:
W5490A
ISSN:
2159-6859
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)