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文献
J-GLOBAL ID:201902272223114839   整理番号:19A2607556

RFスパッタしたアゾ薄膜の特性に及ぼす基板粗さの影響【JST・京大機械翻訳】

The effect of substrate roughness on the properties of RF sputtered AZO thin film
著者 (4件):
Hamada Kairi
(Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan)
Ogawa Takaya
(Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan)
Okumura Hideyuki
(Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan)
Ishihara Keiichi N.
(Graduate School of Energy Science, Kyoto University, Yoshidahonmachi, Sakyo-ku, Kyoto 6068501, Japan)

資料名:
MRS Communications  (MRS Communications)

巻:号:ページ: 697-701  発行年: 2019年 
JST資料番号: W5490A  ISSN: 2159-6859  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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