文献
J-GLOBAL ID:201902275427280584
整理番号:19A0912372
ケイ化鉄ナノ結晶の単結晶シリコンへの埋め込み エメラジョン効果の抑制【JST・京大機械翻訳】
Embedding of iron silicide nanocrystals into monocrystalline silicon: suppression of emersion effect
著者 (6件):
Chusovitin Evgeniy
(Institute for Automation and Control Processes (Russian Federation))
,
Goroshko Dmitry
(Institute for Automation and Control Processes (Russian Federation))
,
Dotsenko Sergey
(Institute for Automation and Control Processes (Russian Federation))
,
Shevlyagin Alexander
(Institute for Automation and Control Processes (Russian Federation))
,
Gutakovskii Anton
(Novosibirsk State Univ. (Russian Federation))
,
Galkin Nikolay
(Institute for Automation and Control Processes (Russian Federation))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
11024
ページ:
1102402-8
発行年:
2019年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)