文献
J-GLOBAL ID:201902279418870503
整理番号:19A0900231
ナノメートル領域における高精度レーザ位置決めシステムの開発【JST・京大機械翻訳】
Development of laser positioning system of high accuracy in the nanometer range
著者 (5件):
Weidenfeller Laura
(Ilmenau Univ. of Technology (Germany))
,
Schienbein Ralf
(Ilmenau Univ. of Technology (Germany))
,
Kirchner Johannes
(Ilmenau Univ. of Technology (Germany))
,
Reinhardt Carsten
(Bremen Univ. of Applied Sciences (Germany))
,
Manske Eberhard
(Ilmenau Univ. of Technology (Germany))
資料名:
Proceedings of SPIE
(Proceedings of SPIE)
巻:
10544
ページ:
105440E-7
発行年:
2018年
JST資料番号:
D0943A
ISSN:
0277-786X
CODEN:
PSISDG
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
短報
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)