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文献
J-GLOBAL ID:201902280183308046   整理番号:19A1089574

光軸方向に生成される3光束レーザー干渉による干渉パターンの位相解析手法

Phase Analysis Method of Interferometric Pattern Generated for Optical Axis Direction Using Three Laser Beam Interferometry
著者 (3件):
川原滉平
(福井大学大学院)
藤垣元治
(福井大学大学院)
後藤優太
(福井大学大学院)

資料名:
精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))

巻: 85  号:ページ: 352-358(J-STAGE)  発行年: 2019年 
JST資料番号: U0462A  ISSN: 1882-675X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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