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著者 (3件)：
資料名：
巻： 47 号： 1 ページ： 22-31 発行年： 2019年
JST資料番号： D0036B ISSN： 0093-3813 CODEN： ITPSBD 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：201902281969472442
整理番号：19A0185967
炭素薄膜のプラズマCVDのためのパルスDC放電【JST・京大機械翻訳】
Pulsed-DC Discharge for Plasma CVD of Carbon Thin Films
Mamun Md Abdullah Al
(Graduate School of Engineering, Kochi University of Technology, Kami, Kochi, Japan)
,
Furuta Hiroshi
(Graduate School of Engineering, Kochi University of Technology, Kami, Kochi, Japan)
,
Hatta Akimitsu
(Graduate School of Engineering, Kochi University of Technology, Kami, Kochi, Japan)
資料名：
IEEE Transactions on Plasma Science
(IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 47 号： 1 ページ： 22-31 発行年： 2019年
JST資料番号： D0036B ISSN： 0093-3813 CODEN： ITPSBD 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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