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J-GLOBAL ID:201902284828849148   整理番号:19A2695761

装置QCデータを用いたVMによる画像センサにおける欠陥数の予測【JST・京大機械翻訳】

Prediction of the Number of Defects in Image Sensors by VM Using Equipment QC Data
著者 (3件):
Okazaki Toshiya
(Sony Semiconductor Manufacturing Corporation, Kumamoto, Japan)
Okusa Kosuke
(Department of Communication Design Science, Faculty of Design, Kyushu University, Fukuoka, Japan)
Yoshida Kyo
(Sony Semiconductor Manufacturing Corporation, Kumamoto, Japan)

資料名:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing  (IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)

巻: 32  号:ページ: 434-437  発行年: 2019年 
JST資料番号: T0521A  ISSN: 0894-6507  CODEN: ITSMED  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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