文献
J-GLOBAL ID:201902284828849148
整理番号:19A2695761
装置QCデータを用いたVMによる画像センサにおける欠陥数の予測【JST・京大機械翻訳】
Prediction of the Number of Defects in Image Sensors by VM Using Equipment QC Data
著者 (3件):
Okazaki Toshiya
(Sony Semiconductor Manufacturing Corporation, Kumamoto, Japan)
,
Okusa Kosuke
(Department of Communication Design Science, Faculty of Design, Kyushu University, Fukuoka, Japan)
,
Yoshida Kyo
(Sony Semiconductor Manufacturing Corporation, Kumamoto, Japan)
資料名:
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
(IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing)
巻:
32
号:
4
ページ:
434-437
発行年:
2019年
JST資料番号:
T0521A
ISSN:
0894-6507
CODEN:
ITSMED
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
アメリカ合衆国 (USA)
言語:
英語 (EN)