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著者 (9件)：
資料名：
巻： 3 号： 11 ページ： 11434-11441 発行年： 2020年
JST資料番号： W5033A ISSN： 2574-0970 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：202002225642881971
整理番号：20A2773747
3Dナノ加工のための多光子励起深紫外線フォトリソグラフィー【JST・京大機械翻訳】
Multiphoton-Excited Deep-Ultraviolet Photolithography for 3D Nanofabrication
Taguchi Atsushi
(Department of Applied Physics, Osaka University, Osaka, Japan)
,
Nakayama Atsushi
(Department of Applied Physics, Osaka University, Osaka, Japan)
,
Nakayama Atsushi
(Advanced Photonics and Biosensing Open Innovation Laboratory, AIST-Osaka University, Osaka, Japan)
,
Oketani Ryosuke
(Department of Applied Physics, Osaka University, Osaka, Japan)
,
Kawata Satoshi
(Department of Applied Physics, Osaka University, Osaka, Japan)
,
Kawata Satoshi
(Serendip Research, Osaka, Japan)
,
Fujita Katsumasa
(Department of Applied Physics, Osaka University, Osaka, Japan)
,
Fujita Katsumasa
(Transdimensional Life Imaging Division, Institute for Open and Transdisciplinary Research Initiatives, Osaka University, Osaka, Japan)
,
Fujita Katsumasa
(Advanced Photonics and Biosensing Open Innovation Laboratory, AIST-Osaka University, Osaka, Japan)
資料名：
ACS Applied Nano Materials
(ACS Applied Nano Materials)
巻： 3 号： 11 ページ： 11434-11441 発行年： 2020年
JST資料番号： W5033A ISSN： 2574-0970 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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