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J-GLOBAL ID：202002225950126516 整理番号：20A0007752

アクティブ片持梁を用いたチップベース電子ビーム誘起蒸着【JST・京大機械翻訳】

Tip-based electron beam induced deposition using active cantilevers

著者 (8件)：

Holz Mathias

(nano analytik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany)

,

Allen Frances I.

(Department of Materials Science and Engineering, University of California, Berkeley, California 94720)

,

Reuter Christoph

(nano analytik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany)

,

Ahmad Ahmad

(nano analytik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany)

,

Hofmann Martin

(Department of Micro- and Nanoelectronic Systems, Technische Universitaet Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany)

,

Reum Alexander

(nano analytik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany)

,

Ivanov Tzvetan

(Department of Micro- and Nanoelectronic Systems, Technische Universitaet Ilmenau, 98693 Ilmenau, Germany)

,

Rangelow Ivo W.

(nano analytik GmbH, 98693 Ilmenau, Germany)

資料名：

Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena (Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)

巻： 37 号： 6 ページ： 061812-061812-4 発行年： 2019年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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