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著者 (6件)：
資料名：
巻： 666 ページ： 319-328 発行年： 2020年
JST資料番号： W5070A ISSN： 1876-1100 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：202002226855299680
整理番号：20A1566140
差動AMRプローブを用いたサブミリメートル分解能を有する裏面スリットの評価【JST・京大機械翻訳】
Evaluation of Back-Side Slits with Sub-millimeter Resolution Using a Differential AMR Probe
Zaini M. A. H. P.
(Faculty of Electrical & Electronics Engineering, Universiti Malaysia Pahang, Pekan, Pahang, Malaysia)
,
Saari M. M.
(Faculty of Electrical & Electronics Engineering, Universiti Malaysia Pahang, Pekan, Pahang, Malaysia)
,
Nadzri N. A.
(Faculty of Electrical & Electronics Engineering, Universiti Malaysia Pahang, Pekan, Pahang, Malaysia)
,
Halil A. M.
(Faculty of Mechanical & Manufacturing Engineering, University Malaysia Pahang, Pekan, Pahang, Malaysia)
,
Hanifah A. J. S.
(Faculty of Mechanical & Manufacturing Engineering, University Malaysia Pahang, Pekan, Pahang, Malaysia)
,
Tsukada K.
(Graduate School of Interdisciplinary Science and Engineering in Health Systems, Okayama University, Okayama, Japan)
資料名：
Lecture Notes in Electrical Engineering
(Lecture Notes in Electrical Engineering)
巻： 666 ページ： 319-328 発行年： 2020年
JST資料番号： W5070A ISSN： 1876-1100 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： ドイツ (DEU) 言語： 英語 (EN)
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