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著者 (7件)：
資料名：
巻： 2020 号： 春季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.H51 発行年： 2020年03月01日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：202002227400665802
整理番号：20A0844756
エバネッセント光を応用した超微粒子洗浄現象の実時間観察に関する研究-第2報:非接触洗浄時における超音波と研磨ナノ粒子の除去挙動-
Real Time Nanoscale Observation in Cleaning Phenomena by Evanescent Field-2nd: Non-contact Removal of Abrasive Nano-particles during Enforcing Mega Sonic-
寺山裕
(九州工大 大学院情報工学府)
,
KHAJORNRUNGRUANG Panart
(九州工大 大学院情報工学研究院)
,
鈴木恵友
(九州工大 大学院情報工学研究院)
,
PERMPATDECHAKUL Thitipat
(九州工大 大学院情報工学府)
,
浜田聡美
(荏原製作所)
,
和田雄高
(荏原製作所)
,
檜山浩國
(荏原製作所)
資料名：
精密工学会大会学術講演会講演論文集
(精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2020 号： 春季(CD-ROM) ページ： ROMBUNNO.H51 発行年： 2020年03月01日
JST資料番号： Y0914A 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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