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著者 (3件)：
資料名：
巻： 480 ページ： Null 発行年： 2021年
JST資料番号： A0678B ISSN： 0030-4018 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：202002230204936225
整理番号：20A2558615
フォトレジストの反応時定数制御によるレーザ直接サブミクロン製造【JST・京大機械翻訳】
Laser direct submicron fabrication by controlling reaction time constant of photoresist
Ikke Daigo
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Graduate school of Engineering, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu 432-8561, Japan)
,
Murata Shingo
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Graduate school of Engineering, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu 432-8561, Japan)
,
Egami Chikara
(Department of Electrical and Electronic Engineering, Graduate school of Engineering, Shizuoka University, 3-5-1 Johoku, Naka-ku, Hamamatsu 432-8561, Japan)
資料名：
Optics Communications
(Optics Communications)
巻： 480 ページ： Null 発行年： 2021年
JST資料番号： A0678B ISSN： 0030-4018 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： オランダ (NLD) 言語： 英語 (EN)
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