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J-GLOBAL ID:202002235007394886   整理番号:20A1414937

トポタクチック酸化を用いたAlドープZnOシード層を有するマグネトロンスパッタVO_2薄膜の集合組織と相制御【JST・京大機械翻訳】

Texture and phase control of magnetron-sputtered VO2 thin films with an Al-doped ZnO seed layer using topotactic oxidization
著者 (4件):
Nomoto Junichi
(Advanced Coating Technology Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 5-2, 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8565, Japan)
Yamaguchi Iwao
(Advanced Coating Technology Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 5-2, 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8565, Japan)
Nakajima Tomohiko
(Advanced Coating Technology Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 5-2, 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8565, Japan)
Tsuchiya Tetsuo
(Advanced Coating Technology Research Center, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 5-2, 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8565, Japan)

資料名:
Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)

巻: 394  ページ: Null  発行年: 2020年 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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