文献
J-GLOBAL ID:202002235301020507
整理番号:20A0672164
紫外線ナノインプリントリソグラフィーによる固体酸化物燃料電池用のマイクロパターン化複合電極の作製【JST・京大機械翻訳】
Fabrication of a micropatterned composite electrode for solid oxide fuel cells via ultraviolet nanoimprint lithography
著者 (7件):
Akama Ryota
(Tokyo University of Science, 6-3-1 Niijyuku, Katsushika, Tokyo 125-8585, Japan)
,
Okabe Takao
(Tokyo University of Science, 6-3-1 Niijyuku, Katsushika, Tokyo 125-8585, Japan)
,
Sato Kazuyoshi
(Gunma University, 1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu, Gunma 376-8515, Japan)
,
Inaba Yoshiki
(Gunma University, 1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu, Gunma 376-8515, Japan)
,
Shikazono Naoki
(Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, 4-6-1 Meguro, Tokyo 153-8505, Japan)
,
Sciazko Anna
(Institute of Industrial Science, The University of Tokyo, 4-6-1 Meguro, Tokyo 153-8505, Japan)
,
Taniguchi Jun
(Tokyo University of Science, 6-3-1 Niijyuku, Katsushika, Tokyo 125-8585, Japan)
資料名:
Microelectronic Engineering
(Microelectronic Engineering)
巻:
225
ページ:
Null
発行年:
2020年
JST資料番号:
C0406B
ISSN:
0167-9317
CODEN:
MIENEF
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
オランダ (NLD)
言語:
英語 (EN)