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文献
J-GLOBAL ID:202002246686772583   整理番号:20A0394318

CMPにおけるスラリー中の砥粒の動的挙動解明とその考察

著者 (5件):
久保直輝
(金沢工大 大学院工学研究科)
畝田道雄
(金沢工大 工)
堀田和利
(フジミインコーポレーテッド)
森永均
(フジミインコーポレーテッド)
石川憲一
(金沢工大 工)

資料名:
日本実験力学会講演論文集  (Proceedings of JSEM Annual Conference on Experimental Mechanics)

号: 19  ページ: 99-100  発行年: 2019年09月01日 
JST資料番号: X0733B  ISSN: 1346-4922  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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