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文献
J-GLOBAL ID:202002246840388643   整理番号:20A2236908

高精度電流計測アレイテスト回路を用いたMIM素子の大規模測定

Large-Scale Evaluation of MIM Devices Using High-Precision Current Measurement Array Test Circuit
著者 (9件):
鈴木勇人
(東北大 大学院)
PARK Hyeonwoo
(東北大 大学院)
寺本章伸
(広島大)
寺本章伸
(東北大 NICHe)
黒田理人
(東北大 大学院)
黒田理人
(東北大 NICHe)
諏訪智之
(東北大 NICHe)
須川成利
(東北大 大学院)
須川成利
(東北大 NICHe)

資料名:
応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))

巻: 67th  ページ: ROMBUNNO.12p-A305-7  発行年: 2020年02月28日 
JST資料番号: Y0054B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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