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著者 (5件)：
資料名：
巻： 30 号： 10 ページ： 105012 (12pp) 発行年： 2020年
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：202002264863439089
整理番号：20A2204621
表面および側壁ドーピングピエゾ抵抗器を用いたMEMS三軸ジャイロスコープ【JST・京大機械翻訳】
MEMS triaxial gyroscope using surface and sidewall doping piezoresistors
Takahashi Hidetoshi
( Department of Mechanical Engineering, Faculty of Science and Technology, Keio University, 3-14-1 Hiyoshi, Kouhoku-ku, Yokohama, Kanagawa 223-8522, Japan)
,
Abe Kohsuke
( Department of Mechano-Informatics, Graduate School of Information Science and Technology, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
,
Takahata Tomoyuki
( Department of Mechano-Informatics, Graduate School of Information Science and Technology, The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
,
Shimoyama Isao
( Toyama Prefectural University, 5180, Kurokawa, Imizu, Toyama 939-0398, Japan)
,
Shimoyama Isao
( The University of Tokyo, 7-3-1 Hongo, Bunkyo-ku, Tokyo 113-8656, Japan)
資料名：
Journal of Micromechanics and Microengineering
(Journal of Micromechanics and Microengineering)
巻： 30 号： 10 ページ： 105012 (12pp) 発行年： 2020年
JST資料番号： W1424A ISSN： 0960-1317 CODEN： JMMIEZ 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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