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資料名：
巻： 119 号： 271(CPM2019 44-51) ページ： 15-19 発行年： 2019年10月31日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：202002267232972434
整理番号：20A0023766
触媒反応支援CVD法におけるZnO膜への窒素ドーピング
Nitrogen doping to ZnO films in a catalytic reaction assisted chemical vapor deposition
伊庭竜太
(長岡技科大)
,
神林広樹
(長岡技科大)
,
安達雄大
(長岡技科大)
,
大石耕一郎
(長岡工高専)
,
片桐裕則
(長岡工高専)
,
安井寛治
(長岡技科大)
資料名：
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 119 号： 271(CPM2019 44-51) ページ： 15-19 発行年： 2019年10月31日
JST資料番号： S0532B ISSN： 0913-5685 資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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