文献
J-GLOBAL ID:202002276440461645
整理番号:20A0117351
微小電子源を用いた真空集積回路創成のための技術的課題
Subjects to Be Overcome for Innovation of Novel Vacuum Integrated Circuits with Miniaturized Electron Sources
著者 (1件):
後藤康仁
(京大 大学院工学研究科)
資料名:
電子情報通信学会技術研究報告
(IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻:
119
号:
305(ED2019 59-75)
ページ:
29-30
発行年:
2019年11月14日
JST資料番号:
S0532B
ISSN:
0913-5685
資料種別:
会議録 (C)
記事区分:
原著論文
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)