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著者 (12件)：
資料名：
巻： 38 号： 1 ページ： 011801-011801-7 発行年： 2020年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：202002276914165532
整理番号：20A0377961
低基板温度下で作製した窒素含有ダイヤモンド状炭素/タングステンと窒素含有ダイヤモンド状炭素/炭化タングステン多層膜の電気抵抗率と機械的性質【JST・京大機械翻訳】
Electrical resistivity and mechanical properties of nitrogen-containing diamondlike carbon/tungsten and nitrogen-containing diamondlike carbon/tungsten carbide multilayer films prepared under low substrate temperature
Tamekuni Koki
(Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, Aichi 4418580, Japan)
,
Harigai Toru
(Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, Aichi 4418580, Japan)
,
Toya Takafumi
(Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, Aichi 4418580, Japan)
,
Takikawa Hirofumi
(Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 1-1 Hibarigaoka, Tempaku, Toyohashi, Aichi 4418580, Japan)
,
Tanimoto Tsuyoshi
(National Institute of Technology, Kochi College, 200-1 Monobe, Nankoku, Kochi 7838508, Japan)
,
Takago Shigeki
(Industrial Research Institute of Ishikawa, 2-1 Shunsuki, Kanazawa, Ishikawa 9208203, Japan)
,
Yasui Haruyuki
(Industrial Research Institute of Ishikawa, 2-1 Shunsuki, Kanazawa, Ishikawa 9208203, Japan)
,
Kaneko Satoru
(Kanagawa Institute of Industrial Science and Technology, 705-1 Shimoimaizumi, Ebina, Kanagawa 2430435, Japan)
,
Kunitsugu Shinsuke
(Industrial Technology Center of Okayama Prefecture, 5301 Yoshiga, Kitaku, Okayama, Okayama 7011296, Japan)
,
Kamiya Masao
(Itoh Optical Industrial Co., Ltd., 3-19 Miyanarityo, Gamagori, Aichi 443004, Japan)
,
Taki Makoto
(Onward Ceramic Coating Co., Ltd., wa-13 Yoshiharatyo, Nomi, Ishikawa 9290111, Japan)
,
Gonda Hidenobu
(OSG Coating Service Co., Ltd., 149 Ichinomiyamae, Toyokawa, Aichi 4411231, Japan)
資料名：
Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena
(Journal of Vacuum Science & Technology. B. Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena)
巻： 38 号： 1 ページ： 011801-011801-7 発行年： 2020年
JST資料番号： E0974A ISSN： 2166-2746 CODEN： JVTBD9 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： アメリカ合衆国 (USA) 言語： 英語 (EN)
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