文献
J-GLOBAL ID:202002288809740972
整理番号:20A1235573
LF-マイクロ波ハイブリッドプラズマ源を用いた表面滅菌に及ぼすガス組成の影響
Effect of gas composition on surface sterilization by using LF-microwave hybrid plasma source
著者 (3件):
Tonmitr Norrawit
(Graduate School of Engineering and Science, University of the Ryukyus, Okinawa 903-0213, Japan)
,
Yonesu Akira
(Graduate School of Engineering and Science, University of the Ryukyus, Okinawa 903-0213, Japan)
,
Hayashi Nobuya
(Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University, Fukuoka 816-8586, Japan)
資料名:
Japanese Journal of Applied Physics
(Japanese Journal of Applied Physics)
巻:
59
号:
SA
ページ:
SAAB02 (6pp)
発行年:
2020年01月
JST資料番号:
G0520B
ISSN:
0021-4922
CODEN:
JJAPB6
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
原著論文
発行国:
イギリス (GBR)
言語:
英語 (EN)