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著者 (5件)：
資料名：
巻： 140 号： 12 ページ： 369-373(J-STAGE) 発行年： 2020年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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文献
J-GLOBAL ID：202102236805143482
整理番号：21A0217793
反応性スパッタリング法を用いた光導波路用SiCO薄膜の透明性向上
Transparency Improvement of SiCO Thin Film for Optical Waveguide with Reactive Sputtering Method
新國広幸
(東京工業高等専門学校)
,
沼田千鶴
(東京工業高等専門学校)
,
山路涼斗
(長岡技術科学大学電気電子情報工学専攻)
,
伊藤浩
(東京工業高等専門学校)
,
川又由雄
(東京工業高等専門学校)
資料名：
電気学会論文誌 E
(IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines)
巻： 140 号： 12 ページ： 369-373(J-STAGE) 発行年： 2020年
JST資料番号： L3098A ISSN： 1341-8939 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： 日本 (JPN) 言語： 日本語 (JA)
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