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著者 (2件)：
資料名：
巻： 69 号： 6 ページ： 360-370 発行年： 2020年12月
JST資料番号： W1384A ISSN： 2050-5698 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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文献
J-GLOBAL ID：202102278181220651
整理番号：21A0169511
走査型電子顕微鏡における像の鮮鋭度評価のためのタングステンドットアレイNMIJ CRM 5207-aの開発-構造評価とドットピッチの決定
Development of NMIJ CRM 5207-a tungsten dot-array for the image sharpness evaluation in scanning electron microscopy - structure evaluation and determination of dot-pitch
KUMAGAI Kazuhiro
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
,
KUROKAWA Akira
(National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol., Tsukuba, JPN)
資料名：
Microscopy
(Microscopy)
巻： 69 号： 6 ページ： 360-370 発行年： 2020年12月
JST資料番号： W1384A ISSN： 2050-5698 資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文 発行国： イギリス (GBR) 言語： 英語 (EN)
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