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J-GLOBAL ID:202102281615409603   整理番号:21A0131757

3D11 半導体デバイス作製教材の改良

3D11 Improvement of an Educational Resource of Semiconductor Device Fabrication
著者 (3件):
辻琢人
(鈴鹿工業高等専門学校電気電子工学科)
長岡史郎
(香川高等専門学校電子システム工学科)
若原昭浩
(豊橋技術科学大学工学研究科電気・電子情報工学系)

資料名:
工学教育研究講演会講演論文集(Web)  (工学教育研究講演会講演論文集・年次大会プログラム(Web))

巻: 2020  ページ: 272-273(J-STAGE)  発行年: 2020年 
JST資料番号: U2037A  ISSN: 2424-1458  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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