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J-GLOBAL ID:200901000046458239   Update date: Oct. 18, 2024

Yoshida Shinya

ヨシダ シンヤ | Yoshida Shinya
Affiliation and department:
Job title: Associate Professor
Homepage URL  (1): https://sites.google.com/site/shinyayoshidaresearch01/
Research field  (5): Biomaterials ,  Biomedical engineering ,  Applied physics - general ,  Electronic devices and equipment ,  Nano/micro-systems
Research keywords  (5): 集積化MEMS ,  圧電MEMS ,  マイクロ・ナノリソグラフィ ,  MEMS ,  微細加工学
Research theme for competitive and other funds  (3):
  • 2020 - 2021 「望めば誰でも安心して子供を産み育てられる社会」の実現に向けた具体的目標課題に関する調査研究
  • 2018 - MEMS用超高性能単結晶PZT系薄膜の量産化と高信頼性付与に関する研究
  • 2013 - 2016 Deposition of Ideally-oriented PZT Monocrystalline Thin Film on Si Substrate and Feasibility Study of Its Application to MEMS
Papers (84):
  • Akihiko Teshigahara, Tetsuya Enomoto, Hideo Yamada, Shinya Yoshida. Reduction mechanism of loss tangent of scandium-doped aluminum nitride thin film by post-deposition annealing. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 9. 095501
  • Shinya Yoshida, Yu Katsumata, Shuji Tanaka. Fabrication and characterization of monocrystalline-based composite Pb(Zr, Ti)O3 thin film patterned with a polycrystalline crack stopper structure. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 7. 075501-075501
  • Akihiko Teshigahara, Tetsuya Enomoto, Hideo Yamada, Shinya Yoshida. Influence of underlayer roughness on the properties of Sc0.4Al0.6N thin films prepared via sputter deposition. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 5. 055501-055501
  • Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Sarah Risquez, Anirban Ghosh, Mohssen Moridi, Shuji Tanaka. Fabrication of a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) with dual heterogeneous piezoelectric thin film stacking. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2024. 34. 3. 035005-035005
  • Kai Fukushi, Shinya Yoshida, Xuanmeng Qi, Shuji Tanaka. EPITAXIAL SM-DOPED PMN-PT FILM WITH HIGH PIEZOELECTRIC CONSTANT FOR MEMS APPLICATION. Proc. IEEE MEMS2024. 2024. 23. January. 765-768
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MISC (96):
  • 岩田 侑次郎, 吉田 慎哉. 圧電MEMS-BAWジャイロスコープのための単結晶PZT-Siディスク共振子の設計とプロセス開発. 電気学会研究会資料(マイクロマシン・センサシステム研究会). 2024. 1-6
  • 片貝 有作, 勅使河原, 明彦, 吉田 慎哉. バッファ層の領域選択的ウェットエッチングを利用した単結晶・多結晶コンポジットPZT薄膜のスパッタ成膜. 第71回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集. 2024. 23a-12H-4
  • 加藤 創吉, 勅使河原, 明彦, 吉田 慎哉. 圧電薄膜積層MEMSアクチュエータへの応用を目指したPZT/LaNiO3/PZTエピタキシャル積層構造の作製. 第71回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集. 2024. 23a-12H-3
  • 吉田 慎哉. 最近の進歩,飲み込み型センサ. 人工臓器. 2022. 51. 3. 169-172
  • 吉田慎哉. 高性能圧電薄膜を用いたMEMS 超音波撮像システムの開発. 機械の研究. 2022. 74. 3. 171-176
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Patents (9):
  • バーチャル空間交流システム、バーチャル空間交流方法及びプログラム
  • 個別昇圧回路、昇圧回路、及び電子機器
  • 検出システム、受信機、及び、検出方法
  • 電池、及び、電子機器
  • 電気化学センサーおよびその製造方法
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Books (3):
  • テレワーク社会を支えるリモートセンシング
    シーエムシー出版 2021 ISBN:9784781316024
  • Ceramic Data Book 2016
    株式会社テクノプラザ 2016
  • 技術シーズを活用した研究開発テーマの発掘
    技術情報協会 2013 ISBN:9784861044922
Lectures and oral presentations  (184):
  • Sputter Deposition of Mono and Polycrystalline Composite PZT Thin Film Using Area-Selective Modification of Buffer Layer Surface by Wet Etching
    (UFFC-JS 2024 2024 Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium)
  • Fabrication of PZT/LaNiO3/PZT Epitaxial Multilayer Structure for Application to Piezoelectric MEMS Actuators
    (UFFC-JS 2024 2024 Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium)
  • Suppression of Pyrochlore Phase Growth in Sm-PMN-PT Epitaxial Thin Film Prepared via Sputter Deposition by Modification of Seed Layer Surface
    (UFFC-JS 2024 2024 Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium)
  • 巨大圧電性を有するPMN-PT系単結晶薄膜のSi基板上へのエピタキシャル成長
    (2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会)
  • 身体の中から健康状態を調べるカプセル型生体内サイバネティックアバター
    (第42回日本ロボット学会学術講演会(RSJ2024))
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Education (3):
  • 2005 - 2008 Tohoku University Graduate School, Division of Engineering ナノメカニクス専攻
  • 2003 - 2005 Tohoku University Graduate School of Engineering
  • 1999 - 2003 Tohoku University Faculty of Engineering 機械電子工学科
Professional career (1):
  • 博士(工学) (Tohoku University)
Work history (6):
  • 2022/04 - 現在 Shibaura Institute of Technology Department of Engineering Science and Mechanics Associate Professor
  • 2015/04 - 2022/03 Tohoku University Graduate School of Engineering
  • 2018/10 - 2019/07 Tohoku University Graduate School of Biomedical Engineering
  • 2009/04 - 2015/03 Tohoku University
  • 2011/10 - 2011/12 Tohoku University
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Committee career (20):
  • 2022/04 - 現在 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門 運営委員会 委員
  • 2018 - 現在 ヘルスケアIoTコンソーシアム 有識者会員
  • 2014/04 - 現在 電気学会 論文委員会(Eグループ) 論文委員
  • 2024/04 - 2025/03 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門 広報委員会 委員長
  • 2023/04 - 2024/03 電気学会 第40回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会 論文委員主査
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Awards (14):
  • 2022/12 - 科学技術・学術政策研究所 2022年「科学技術への顕著な貢献2022(ナイスステップな研究者)」
  • 2021/01 - 日本バイオデザイン学会 Outstanding Presentation Award (第一回日本バイオデザイン学会定期学術集会))
  • 2019/07 - 東北大学TECH OPEN 2019ビジネスプランコンテスト NEDO賞 飲む体温計
  • 2019/03 - Outstanding Paper Award (IEEE LifeTech 2019) Proof of Concept for Tablet-Shaped Ingestible Core-Body Thermometer with Gastric Acid Battery
  • 2018/07 - 東北大学附置研究所若手アンサンブルプロジェクト 優秀ポスター賞 錠剤サイズの「飲む体温計」の開発と応用
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Association Membership(s) (5):
JAPANESE SOCIETY FOR MEDICAL AND BIOLOGICAL ENGINEERING ,  IEEE ,  応用物理学会 ,  電気学会 ,  日本機械学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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