Research keywords (17):
Low Temperature Plasma
, Plasma assisted deposition
, Plasma Processing at atmospheric-pressure
, 低温プラズマ
, 大気圧プラズマ
, Low temperature plasma sterilization
, Plasma & laser assisted development of thin film devices
, Plasma assisted manufacturing
, 低温プラズマ滅菌
, プラズマ支援薄膜電子デバイス創成
, プラズマ支援合成
, マイクロ・ナノデバイス
, エネルギー学
, 薄膜・表面界面物性
, Applied Material・Science
, Electron Deyicesand Apparatus Engineering
, Plasma Assisted Manufacturing
応用物理学会
, 日本バイオマテリアル学会
, American Institute of Physics (AIP)
, Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
, 電気学会
, プラズマ・核融合学会
, 日本物理学会