MIYAZAKI SEIICHI | Researcher Information

2021 - 2024 ハイブリッドスーパーアトム創成による量子物性制御と新機能デバイス開発
2015 - 2019 Formation of Self-Aligned Super-Atom-like Si-Ge based Quantum Dots and Characterization of Their Optical and Electrical Properties
2015 - 2016 磁性合金ナノドットハイブリッド集積によるスピン物性制御と新機能メモリ応用
2012 - 2015 Alignment Control and Electrical Coupling of High-density Si-based Quantum Dots
2009 - 2012 Control of Electronic Properties of One-Dimensionally Self-Aligned Si-Ge based Quantum Dots and Its Electroluminescence

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K. Makihara, Y. Yamamoto, H. Yagi, L. Li, N. Taoka, B. Tillack, S. Miyazaki. Electron emission from alignment-controlled multiple stacks of SiGe nanodots embedded in Si structures. Mat. Sci. in Semiconductor Processing. 2024. 174. 108227 (5 pages)
J. Baek, Y. Imai, R. Tsuji, K. Makihara, S. Miyazaki. Self-assembling mechanism of Si-QDs on thermally-grown SiO2. Jpn. J. Appl. Phys. 2024. Accepted Manuscript online 4 March 2024
R. Tsuji, Y. Imai, J. Baek, K. Makihara, S. Miyazaki. Self-assembling formation of Si-QDs on SiO2 line patterns. Jpn. J. Appl. Phys. 2024. 63. 3. 03SP04 (4 pages)
H. Saito, K. Makihara, N. Taoka, S. Miyazaki. Formation of β-FeSi2 NDs by SiH4-exposure to Fe-NDs. Jpn. J. Appl. Phys. 2024. 63. 2. 02SP99 (4 pages)
Formation of ultra-thin nickel silicide on SiO2 using Si/Ni/Si structures for oxidation control. Jpn. J. Appl. Phys. 2024. 63. 2. 02SP72 (5 pages)

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A. Ohta, N. X. Truyen, N. Fujimura, M. Ikeda, K. Makihara, S. Miyazaki. Total photoelectron yield spectroscopy of energy distribution of electronic states density at GaN surface and SiO2/GaN interface. Jpn. J. Appl. Phys. 2018. 57. 6S3. 06KA08 (6 pages)
N. X. Truyen, N. Taoka, A. Ohta, K. Makihara, H. Yamada, T. Takahashi, M. Ikeda, M. Shimizu, S. Miyazaki. Interface properties of SiO2/GaN structures formed by chemical vapor deposition with remote oxygen plasma mixed with Ar or He. Jpn. J. Appl. Phys. 2018. 57. 6S3. 06KA01 (7 pages)
A. Ohta, Y. Kato, M. Ikeda, K. Makihara, S. Miyazaki. Evaluation of resistive switching properties of Si-rich oxide embedded with Ti nanodots by applying constant voltage and current. Jpn. J. Appl. Phys. 2018. 57. 6S1. 06HD05 (4 pages)
T. Yamamoto, N. Taoka, A. Ohta, N. X. Truyen, H. Yamada, T. Takahashi, M. Ikeda, K. Makihara, M. Shimizu, S. Miyazaki. Low-temperature formation of Ga-oxide/GaN interface with remote oxygen plasma and its interface properties. Jpn. J. Appl. Phys. 2018. 57. 6S2. 06JE01 (5 pages)
T. Yamamoto, N. Taoka, A. Ohta, N. X. Truyen, H. Yamada, T. Takahashi, M. Ikeda, K. Makihara, O. Nakatsuka, M. Shimizu, et al. Energy band structure and electrical properties of Ga-oxide/GaN interface formed by remote oxygen plasma. Jpn. J. Appl. Phys. 2018. 57. 6S3. 06KA05 (5 pages)

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半導体薄膜およびその製造方法
窒化珪素膜および不揮発性半導体メモリ装置
酸化ゲルマニウムの製造方法およびそれを用いた半導体デバイスの製造方法
プラズマ装置および結晶製造方法
窒化珪素膜および不揮発性半導体メモリ装置

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化学便覧第7版応用化学編
日本化学会編,丸善出版(株) 2014
薄膜工学(第2版)分担執筆第2章3節「化学気相成長法」
丸善出版 2011
マイクロ・ナノ領域の超精密技術第3章2節「半導体デバイス」ISi系(極微細化の観点を中心にして)
オーム社 2011
プラズマ・核融合学会誌熱プラズマによるアモルファスシリコンの結晶化,「講座熱流を伴う反応性プラズマを用いた材料合成プロセス 3.結晶化・相変化制御への応用」
2009
次世代半導体メモリの最新技術第6章分担執筆:「シリコン系ナノ構造集積と機能メモリデバイス開発」
シーエムシー出版 2009

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GeコアSi量子ドットを内包したマイクロディスクの形成と発光特性評価
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
Feシリサイドコア/Siシェル量子ドットの形成と発光特性
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
SiO2ラインパターン上へのSi量子ドットの自己組織化形成-ラインおよびスペース幅依存性
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
Ni超薄膜へのSiH 4照射によるシリサイド化反応制御
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
Impacts of Surface Oxidation on Surface Morphology and Silicidation Reaction in Si/Ni/Si Structures Formed on SiO2
(16th International Symposium on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides Nanomaterials / 17th International Conference on Plasma-Nano Technology and Science / 13th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology (ISPlasma 2024 / IC-PLANTS 2024 /APSPT-13 ) 2024)

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工学博士 (広島大学)

2009/09 - 現在公益社団法人応用物理学会フェローフェロー
2021/04 - 2024/03 Nagoya University Dean
2017/05 - 2024/03 産業技術総合研究所窒化物半導体先進デバイスOIL(兼務) 客員研究員
2017/04 - 2024/03 Nagoya University Institute of Materials and Systems for Sustainability Center for Integrated Research of Future Electronics Professor
2010/08 - 2024/03 Hiroshima University Resrarch Institute for Nanodevices

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2020/07 - 現在 Nanomaterials, Editorial Board Member Editorial Board Member
2020/06 - 現在独立行政法人日本学術振興会 R025先進薄膜界面機能創成委員会委員
2019/04 - 現在公益社団法人応用物理学会薄膜・表面物理分科会顧問
2018/05 - 現在公益社団法人日本表面真空学会中部支部役員
2015 - 現在公益社団法人応用物理学会学術教育・奨励基金委員会委員

2014 - 現在 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM; 2014~ ) 国際会議組織運営委員

2014 - 現在 Int. Symp. on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials/Int. Conf. on Plasma-Nano Technology & Science (ISPlasma/IC-PLANTS, 2014~ ) 国際会議組織運営委員

2014 - 現在 Int. Symp. on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials/Int. Conf. on Plasma-Nano Technology (ISPlasma/IC-PLANTS; 2014 - 2018, 2020 ~) 国際会議プログラム委員

2011/04 - 現在公益社団法人応用物理学会シリコンテクノロジー分科会諮問委員

2008 - 現在独立行政法人日本学術振興会アモルファス・ナノ材料第147委員会委員

2005 - 現在 Int. Workshop on New Group IV Semiconductor an Nanoelectronics (2005 ~ ) 国際会議プログラム委員

2005 - 現在 Int. Symp on Dry Process Symp. (DPS; 2005 - 2009, 2011~ ) 国際会議プログラム委員

2003 - 現在 e-Journal of Surf. Sci. and Nanotechnology, Ed. Board Member(2003-) Ed. Board Member

2000 - 現在 Asia-Pacific Workshop on Fundamental and Application of Advanced Semiconductor Devices (AWAD; 2000 ~, 2012(Chair)) 国際会議プログラム委員

2021/06 - 2026/06 公益財団法人中部電気利用基礎研究振興財団評議員

2017/04 - 2025/03 公益社団法人応用物理学会東海支部諮問委員

2022/08 - 2024/06 東海工学教育協会会長

2022/06 - 2024/06 公益社団法人日本工学教育協会理事

2021/06 - 2024/06 公益財団法人永井科学技術財団評議員

2021/05 - 2024/06 公益財団法人名古屋産業科学研究所理事

2021/05 - 2024/05 公益財団法人日比科学技術振興財団理事

2021/07 - 2024/03 一般社団法人愛知県発明協会参与

2021/06 - 2024/03 公益財団法人科学技術交流財団企画運営委員会委員

2021/05 - 2024/03 公益財団法人名古屋産業科学研究所中部ハイテクセンター企画運営委員会委員

2021/04 - 2024/03 公益財団法人立松財団理事

2021/04 - 2024/03 一般社団法人八大学工学系連合会理事

2021/04 - 2024/03 公益財団法人名古屋産業科学研究所中部TLO企画運営委員会委員

2021/04 - 2024/03 中部原子力懇談会参与

2021/04 - 2024/03 公益財団法人中部科学技術センター中部イノベネット運営委員

2019/04 - 2024/03 東京医科歯科大学生体医歯工学共同研究拠点運営委員会委員

2017/04 - 2024/03 国立研究開発法人産業技術総合研究所窒化物半導体先進デバイスOIL客員研究員

2015 - 2024/03 公益社団法人応用物理学会薄膜・表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催電子デバイス界面テクノロジー研究会 -材料・プロセス・デバイス特性の物理- 運営委員

2010/08 - 2024/03 広島大学ナノデバイス研究所客員教授

2021/01 - 2023/12 The Electrochemical Society(ECS)日本支部日本支部長

2019/05 - 2023/06 公益財団法人科学技術交流財団あいちシンクロトロン光センター運営委員会委員

1998/05 - 2023/06 一般社団法人電子情報通信学会シリコン材料・デバイス研究専門委員会 SDM研究専門委員会専門委員

2020/09 - 2023/03 公益財団法人岐阜県産業経済振興センター研究開発委員会委員(アドバイザー)

2023/01 - 2023/01 名古屋市工業研究所機関運営会議構成員

2021/06 - 2022/06 東海工学教育協会副会長

2021/04 - 2022/03 公益財団法人科学技術交流財団主幹研究員

2022 - 2022 The 9th International Symposium on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-IX, September 5-8, 2022, Nagoya University, Japan) International Advisory Committee

2022/01 - 2022/01 名古屋市工業研究所機関運営会議構成員

2020 - 2021 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(JSR)組織委員会 JSR2021組織委員

2018 - 2021 Int. SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM)/Int. Conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI) (Joint ISTDM/ICSI Conf.; 1st 2018 (Potsdam), 2nd 2019(Madison WI), 3rd 2021(Taipei)) 国際会議諮問委員

2011 - 2021 Int. Workshop on Dielectric Thin Films (IWDTF; Tokyo, 2011(Chair), 2013, 2015, 2017, 2019, 2021) 国際会議組織運営委員

2012/08 - 2020/12 Electrochemical Society ECS Japan Section, Member-at-large(2012.8~2016.12), 2nd Vice Chair(2017.1~2018.12), 1st Vice Chair(2019.1~2020.12)

2018/05 - 2020/09 独立行政法人日本学術振興会協力会評議員

2018/06 - 2020/06 公益社団法人日本工学教育協会事業企画委員会委員

2001/04 - 2020/06 独立行政法人日本学術振興会半導体界面制御技術第154委員会委員長(2013.4 - 2020.6), 企画幹事長(2008.4 - 2013.3), 企画副幹事長(2004.4 - 2008.3), 企画幹事(2001 - 2013.3)

1993 - 2020/06 独立行政法人日本学術振興会薄膜第131委員会企画委員 (1993 - 2020.6), 庶務幹事(1999.4 - 2004.3)

2019 - 2020 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(JSR)組織委員会 JSR2020副実行委員長/プログラム委員/組織委員

2014 - 2020 ECS Trans. Vol. 98, No. 5 (2020), Vol. 85, No.16 (2018), Vol.75, No.8 (2016), Vol.64, No. 6 (2014), Ed. Member Ed. Member

2008 - 2020 SiGe, Ge, & Related Compounds: Materials, Processing, and Devices Symposium in ECS (2008(Hawaii), 2010(Las Vegas), 2012(Hawaii), 2014(Cancun), 2016(Honolulu), 2018(Cancun), 2020(Honolulu)) Surfaces & Interfaces Committee Chair 国際会議組織運営委員

2017/04 - 2019/03 公益社団法人応用物理学会薄膜・表面物理分科会幹事長

2019 - 2019 8th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces (Sendai, Nov. 27-30, 2019) Organizing Committee Chair 国際会議・シンポジウムオーガナイザ

2019 - 2019 11th Int. Symp. on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials/12th Int. Conf. on Plasma-Nano Technology (ISPlasma 2019/IC-PLANT 2019; Nagoya, March 17-21, 2019) Organizing Committee Chair 国際会議・シンポジウムオーガナイザ

2006 - 2019 IEICE Trans. on Electronics; E102-C, No. 6 (2019), E101-C, No. 5 (2018), E100-C, No. 5 (2017), E99-C, No. 5 (2016), E98-C, No. 5 (2015), E97-C, No. 5 (2014), E96-C, No. 5 (2013), E95-C, No.5 (2012), E94-C, No.5 (2011), E93-C, No.5 (2010), E92-C, No.5 (2009), E91-C, No.5 (2008), E90-C, No.5 (2007), E89-C, No.5 (2006): Special Section on Fundamental and Applicationof Advanced Semiconductor Devices, Ed. Commitee Member Special Section on Fundamental and Applicationof Advanced Semiconductor Devices, Ed. Commitee Member

2011/05 - 2018/05 旧) 公益社団法人日本表面科学会中部支部役員

2018 - 2018 10th Anniversary Int. Symp. on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials/11th Int. Conf. on Plasma-Nano Technology (ISPlasma 2018/IC-PLANT 2018; Nagoya, March 4-8, 2018) Organizing Committee Vice-Chair 国際会議・シンポジウムオーガナイザ

2018 - 2018 14th Int. Conf. on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (Sendai, Oct.21-15, 2018) Organizing Committee Chair 国際会議・シンポジウムオーガナイザ

2018 - 2018 1st joint Int. SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM)/Int. Conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI) (1st Joint ISTDM/ICSI Conf., Potsdam, 2018) Co-chair 国際会議プログラム委員, Co-chair

1997 - 2018 公益社団法人応用物理学会薄膜・表面物理分科会幹事

2010/10 - 2017/11 南京大学電子科学与工程学院兼職教授

2016 - 2016 7th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces (Nagoya, June 7-16, 2016) Organizing Committee Chair 国際会議・シンポジウムオーガナイザ

2016 - 2016 8th Int. Symp. on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials/9th Int. Conf. on Plasma-Nano Technology & Sicence (ISPlasma 2016/IC-PLANTS2016, Nagoya, 2016) Executive Committee Chair 国際会議実行委員

2016 - 2016 2016 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of Advanced Semiconductor Devices (AWAD2016, Hakodate, 2016) Steering Committee Co-chair 国際会議実行委員

2016 - 2016 European Mat. Res. Soc. Fall Meeting: Symp. I "Integration of Novel Materials and Devices on Silicon for Future Technologies" (Warsaw, 2016) 国際会議プログラム委員

2015 - 2016 公益社団法人応用物理学会東海支部支部長

2011/04 - 2016 公益社団法人応用物理学会理事 (2011/2012年度; 講演会企画・運営委員会、講演奨励賞委員会, 2015/2016年度)

2011/04 - 2016 公益社団法人応用物理学会東海支部幹事

2008 - 2016 Int. SiGe Technology and Device Meeting (ISTDM, 4th 2008, 5th 2010, 6th 2012, 8th 2016) 国際会議プログラム委員

2001 - 2016 公益社団法人応用物理学会代議員 (2001-2003年度, 2012/2013年度, 2015/2016年度)

2011/03 - 2015/03 公益社団法人応用物理学会薄膜・表面物理分科会/シリコンテクノロジー分科会共催特別研究会「ゲートスタック研究会 -材料・プロセス・評価の物理-」運営委員

2013/04 - 2014/03 公益社団法人応用物理学会講演会企画・運営委員会委員

2012/01 - 2014/03 高輝度光科学研究センターSPring-8成果審査委員会査読者

2013/02 - 2014/02 公益社団法人応用物理学会諮問委員

2014 - 2014 8th Int.Conf.on Reactive Plasmas (ICRP-8; Fukuoka, 2014) 国際会議諮問委員

2014 - 2014 Thin Solid Films, Vol 557, 30 (2014), Managing Gest Editor Managing Gest Editor

2011/06 - 2013/03 SPring-8利用研究課題審査委員会分科会レフェリー

2013 - 2013 6th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-VI, Fukuoka, 2013) 国際会議組織運営委員

2012 - 2013 Int. Symp. on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma,4th 2012, 5th 2013) 国際会議プログラム委員

2010 - 2013 Int. Symp. on Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials (ISPlasma; Nagoya, 2nd 2010, 3rd 2011, 4th 2012, 5th 2013) 国際会議組織運営委員

2007 - 2013 Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces-for Next Generation ULSI Process Integrations-(ISCSI; 5th 2007, 6th 2013) 国際会議プログラム委員

2005 - 2013 Int. Conf. on Silicon Epitaxy and Heterostructures (ICSI; 4th 2005, 5th 2007, 6th 2009, 7th 2011(Co-chair), 8th 2013 (Chair)) 国際会議プログラム委員

2011/09 - 2012/05 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ英文論文誌編集委員会編集委員

2012 - 2012 J. Non-Cryst. Solids, Vol.358, Issue 17 (2012) : Special Issue for Proc. of the 24th Int. Conf. on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS 24) Guest Editor (Head of Guest Editors) Guest Editor (Head of Guest Editors)

2009/04 - 2012 公益社団法人応用物理学会国際委員会委員

2008 - 2012 Int. Conf. on Plasma Nanotechnology & Science (IC-PLANTS; 2008 - 2012) 国際会議プログラム委員

1997 - 2012 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM; 1997 - 2012 , 2011(Vice-Chair), 2012(Chair)) 国際会議プログラム委員

2010/12 - 2011/11 日本学術振興会科学研究費委員会専門委員

2008/04 - 2011/03 公益社団法人応用物理学会評議員

2011 - 2011 15th Int. Conf. on Thin Films (ICTF-15, Kyoto, 2011) Session Chair 国際会議組織運営委員

2011 - 2011 24th Int. Conf. on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS24, Nara, 2011) Publication Chair: JNCS Guest Editor 国際会議組織運営委員

2011 - 2011 2011 Int. Workshop on Dielectric Thin Films (IWDTF-11,Tokyo, 2011) Chair 国際会議組織運営委員

2011 - 2011 Key Engineering Materials, Vol.470 "Technology Evolution for Silicon Nano-Electronics", (2011) Editor Editor

2011 - 2011 Jpn. J. Appl. Phys. 50, No.1 (2011): Selected Topics in Applied Physics: Technology Evolution for Silicon Nano-Electronics, Guest Editor Guest Editor

2011 - 2011 24th Int. Conf. on Amorphous and Nanocrystalline Semiconductors (ICANS24, Nara, 2011) 国際会議プログラム委員

2009 - 2011 Int. Symp on Dry Process Symp. (DPS: Busan, 2009(Vice-chair), Tokyo, 2010(Chair), Kyoto, 2011(Vice-chair)) 国際会議実行委員

2003 - 2011 Jpn. J. Appl. Phys. 50, No.4B (2011), 49, No.4B (2010), 48, No.4B (2009), 47, No.4B (2008), 46. No.4B (2007), 45. No.4B (2006), 44. No.4B (2005), 43. No.4B(2004), 42. No.4B (2003): Special Issue for Int. Conf. on Solid State Devices and Material, Ed. Commitee Member Ed. Commitee Member

1995/04 - 2010/05 公益社団法人応用物理学会中国四国支部幹事

1999/04 - 2010/03 公益社団法人応用物理学会シリコンテクノロジー分科会幹事 (1999-2010年度, 常任幹事:2003/2004年度, 副幹事長2008/2009年度、幹事長:2009/2010年度)

2005 - 2010 Int. Meeting for Future of Electron Devices, Kansai (IMFEDK; 2005 - 2010) 国際会議プログラム委員

2009/09 - 2009/09 公益社団法人応用物理学会フェロー

2009 - 2009 公益社団法人応用物理学会 2009年度中国四国支部学術講演会 (2009年8月1日) 実行委員長

2009 - 2009 1st Int. Workshop on Si based nano-electronics and -photonics (SINEP-09; Vigo, 2009) 国際会議プログラム委員

2008 - 2008 Symp. Z, "Material Science and Process Technologies for Advanced Nano-Electronic Devices" (Nagoya, Dec. 9-13, 2008) The IUMRS International Conference in Asia 2008 (IUMRS-ICA, 2008) 国際会議・シンポジウムオーガナイザ

2008 - 2008 2008 Int. Workshop on Dielectric Thin Films (IWDTF-08,Kawasaki, 2008) 国際会議実行委員

2007 - 2008 Symp. "A: Amorphous and Polycrystalline Thin-Film Silicon Science and Technology" (San Francisco, April 9-13, 2007; 2008), Mat. Res. Soc. Spring Meeting 国際会議・シンポジウムオーガナイザ

2007 - 2007 5th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces-for Next Generation ULSI Process Integrations-(ISCSI-V, Tokyo, 2007) Vice-chair 国際会議実行委員

2007 - 2007 5th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces-for Next Generation ULSI Process Integrations- (ISCSI-V, Tokyo, 2007) 国際会議組織運営委員

2003/03 - 2006/03 一般社団法人電気学会システム集積プロセス調査専門委員会委員

2006 - 2006 European Mat. Res. Soc. Spring Meeting: Symp. L "Characterization of High-k Dielectric Materials" (Nice, 2006) 国際会議プログラム委員

1999 - 2006 Int. Workshop on Dielectric Thin Films (IWDTF; 1999, 2004, 2006) Vice-chair 国際会議プログラム委員

2005 - 2005 The Special Joint Symp. on "Evolution and Outlook of Oxide Nonvolatile Memories" (Tokyo, Dec. 11, 2005), Mat. Res. Soc. Japan 国際会議・シンポジウムオーガナイザ

2005 - 2005 IEICE Trans. on Electronics: Special Issue 2005-4EC, Ed. Commitee Member Ed. Commitee Member

1999 - 2005 Silicon Nanoelectronics Workshop(SNW; 1999 - 2005) 国際会議プログラム委員

2004 - 2004 Int.Conf.on Polycrystalline Semiconductors (POLYSE; Potsdam, 2004) 国際会議諮問委員

2004 - 2004 IEICE Trans. on Electronics E87-C, No.1 (2004): Special Section on High-k Gate Dielectrics, Guest Editor Guest Editor

2000/03 - 2003/03 一般社団法人電気学会グローバルインテグレーションプロセス調査専門委員会委員

1998 - 2003/03 独立行政法人日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会委員

2003 - 2003 7th Int. Conf. on Atomically Controlled Surfaces, Interfaces and Nanostructures (ACSIN-7, Nara, 2003) 国際会議実行委員

2001 - 2003 Int. Workshop on Gate Insulator (IWGI; 2001, 2003) 国際会議プログラム委員

2002 - 2002 4th Int. Symp. on Control of Semiconductor Interfaces (ISCSI-4; Tokyo, 2002) 国際会議プログラム委員

1998 - 2002 Jpn. J. Appl. Phys. Assoc. Editor (1998 - 2002) Assoc. Editor

2001 - 2001 Jpn. J. Appl. Phys. 40, No.4B (2001): Special Issue for 2000 Int. Conf. on Solid State Devices and Material, Ed. Commitee Chairperson Ed. Commitee Chairperson

2001 - 2001 8th Int. Conf. on the Formation of Semiconductor Interface (ICFSI-8; Sapporo, 2001) 国際会議プログラム委員

2001 - 2001 Int. Conf. on Rapid Thermal Processing for Future Semiconductor Devices (RTP; Ise shima, 2001) 国際会議プログラム委員

1997/03 - 2000/03 一般社団法人電気学会プロセス・インテグレーション調査専門委員会委員

1999 - 1999 3rd. Int. Symp. on Surface Science for Micro- and Nano-Device Fablication (ISSS-3; Tokyo, 1999) 国際会議プログラム委員

1999 - 1999 Int. Joint Conf. on Si Epi. and Heterostructure(IJC-Si; Zao, 1999) 国際会議プログラム委員

1998 - 1998 1998 Int. Conf. on Solid State Devices and Materials (SSDM 1998, Hiroshima, 1998) 国際会議実行委員

1998 - 1998 公益社団法人応用物理学会第59回応用物理学会学術講演会 (1998年9月15-18日) 現地実行委員

1997 - 1998 Mat. Res. Soc. Spring Meeting: Symp. A "Amorphous and Polycrystalline Thin-Film Silicon Science and Technology" (San Fransicso, 1997, 1998) 国際会議プログラム委員

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2011/03 - ISPlasma2012 Organizing Committee Chair ISPlasma2012 Best Presentation Award
2010/07 - (社)応用物理学会中国四国支部応用物理学会中国四国支部貢献賞
2009/09 - The Japan Society of Applied Physics JSAP Fellow Award
2004/05 - Semiconductor Leading Edge Technologies, Inc. Selete Achievement Award
2003/04 - The Japan Society of Applied Physics Jpn. J. Appl. Phys. Editorial Contribution Award

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公社)日本表面真空学会 , 公社)日本工学教育協会 , The Materials Research Society of Japan , 公社)応用物理学会 , 公社)応用物理学会 , 公社)応用物理学会 , 公社)応用物理学会 , The Electrochemical Society , Material Reseach Society , 旧)公社)日本表面科学会 , 一社)電子情報通信学会