Rchr
J-GLOBAL ID：201001000217405610   Update date: Sep. 26, 2024

Murata Junji

ムラタ ジュンジ | Murata Junji
Affiliation and department：
Ritsumeikan University College of Science and Engineering Department of Mechanical Engineering

About Ritsumeikan University College of Science and Engineering Department of Mechanical Engineering


Other affiliations (1)：
Research field  (4)： Material fabrication and microstructure control ,  Inorganic materials ,  Manufacturing and production engineering ,  Thin-film surfaces and interfaces
Research keywords  (1)： Ultra-precision machining, polishing, semiconductor, surface, gallium, catalyst, etching,
Research theme for competitive and other funds  (12)：
  • 2023 - 2026 電解液を用いない電気化学的微細表面構造創成
  • 2023 - 2026 固体電解質を用いた環境調和型電気化学機械研磨のメカニズム解明と技術体系の構築
  • 2023 - 2025 固体電解質のイオン輸送を用いた環境調和型電気化学表面プロセスの開発
  • 2019 - 2022 Development of electrochemical dry polishing method for GaN surface using solid polymer electrolyte
  • 2021 - 2022 電解液を用いない電気化学的表面創成:硬質材料のトライボロジー特性向上への応用
Show all
Papers (58)：
  • Naoki Inada, Masaru Takizawa, Mariko Adachi, Junji Murata. Sustainable Electrochemical Mechanical Polishing (ECMP) for 4H-SiC wafer using chemical-free polishing slurry with hydrocarbon-based solid polymer electrolyte. Applied Surface Science. 2024. 664. 160241-160241
  • Katsuma Yamazaki, Atsuki Tsuji, Masaru Takizawa, Junji Murata. Ultrafast Solid-State Electrochemical Imprinting Utilizing Polymer Electrolyte Membrane Stamps for Static/Dynamic Structural Coloration and Letter Encryption. Small Methods. 2024. 202301787
  • Atsuki Tsuji, Eita Morimoto, Masaru Takizawa, Junji Murata. Cu Direct Nanopatterning Using Solid-State Electrochemical Dissolution at the Anode/Polymer Electrolyte Membrane Interface. Advanced Materials Interfaces. 2024
  • Junji Murata, Kenshin Hayama, Masaru Takizawa. Environment-friendly electrochemical mechanical polishing using solid polymer electrolyte/CeO2 composite pad for highly efficient finishing of 4H-SiC (0001) surface. Applied Surface Science. 2023. 625. 157190-157190
  • Atsuki Tsuji, Pengfei Jia, Masaru Takizawa, Junji Murata. Improvement in the Polishing Characteristics of Titanium-Based Materials Using Electrochemical Mechanical Polishing. Surfaces and Interfaces. 2022. 35. 102490-102490
ｍore...
MISC (24)：
  • TANI Yasuhiro, ZHANG Yu, MURATA Junji, NOMURA Nobuyuki. S1330203 Polishing characteristics of porous polishing pads. Mechanical Engineering Congress, Japan. 2014. 2014. "S1330203-1"-"S1330203-3"
  • MURATA Junji, TANI Yasuhiro, ZHANG Yu, NOMURA Nobuyuki. S133013 Advanced polishing technology using epoxy resin polishing pad. Mechanical Engineering Congress, Japan. 2013. 2013. "S133013-1"-"S133013-3"
  • TANI Yasuhiro, ZHANG Yu, MURATA Junji, KIRINO Okiharu. 617 Development of Drum Manufacturing Method of Electroplated Diamond Wire Tools. 2013. 2013. 88. "6-20"
  • ZHANG Yu, TANI Yasuhiro, MURATA Junji, KIRINO Okiharu. 620 Development of Partially Ni-coated Diamond abrasives. 2013. 2013. 88. "6-23"
  • MURATA Junji, TSUCHIDA Takeshi, TANI Yasuhiro, ZHANG Yu, KIRINO Okiharu. 625 Novel slicing method for photovoltaic Si ingot using wet etching. 2013. 2013. 88. "6-28"
ｍore...
Patents (23)：
ｍore...
Books (4)：
  • シリコンと化合物半導体の超精密・微細加工プロセス技術-工程別加工技術の基礎と最新動向-
    シーエムシー出版 2024
  • 次世代半導体用の難加工結晶材料のための超精密工技術
    R&D支援センター 2024
  • 生産加工入門(機械工学テキストライブラリ)
    数理工学社 2014
  • 最新研磨技術
    シーエムシー出版 2012
Lectures and oral presentations  (198)：
  • 固体電解質膜/Cu界面の固相陽極溶解による微細パターニングの高精度化のための加工条件の最適化
    (2024年度精密工学会秋季大会学術講演会 2024)
  • 固相電解酸化によるフッ素化合物の分解と微小液滴アレイへの応用
    (2024年度精密工学会秋季大会学術講演会 2024)
  • 高分子電解質を用いた固相電解酸化によるTi表面の改質
    (2024年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2024) 2024)
  • 高分子電解質膜を用いた固相電気分解によるAuのマイクロ酸化膜パターン形成
    (2024年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2024) 2024)
  • 固体高分子電解質膜/陽極界面の固相陽極溶解を利用した鉄系材料の微細パターン形成
    (2024年度砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2024) 2024)
ｍore...
Education (3)：
  • 2007 - 2010 Osaka University Graduate School, Division of Engineering
  • 2005 - 2007 大阪大学大学院 工学研究科 精密科学・応用物理学専攻 博士前期課程
  • 2001 - 2005 Osaka University Faculty of Engineering
Professional career (1)：
  • Ph. D (Osaka University)
Work history (6)：
  • 2023/04 - 現在 立命館大学 理工学部 機械工学科 教授
  • 2019/04 - 2023/03 Ritsumeikan University
  • 2017/04 - 2019/03 Kindai University Faculty of Science and Engineering, Department of Mechanical Engineering
  • 2014/04 - 2017/03 Kindai University Faculty of Science and Engineering, Department of Mechanical Engineering
  • 2010/04 - 2014/03 Ritsumeikan University College of Science and Engineering, Department of Mechanical Engineering Assistant Professor
Show all
Committee career (4)：
  • 2015/04 - 現在 砥粒加工学会 論文査読委員
  • 2011/03 - 現在 精密工学会 アフィリエイト委員(若手先導的会員)
  • 2015/04 - 2018/03 精密工学会 会誌編集委員
  • 2013/04 - 2016/03 先進研磨技術研究会 世話人
Awards (8)：
  • 2022/12 - ICPE2022 Best Paper Award Electrochemical mechanical polishing using solid polymer electrolyte
  • 2022/04 - 砥粒加工学会 砥粒加工学会賞論文賞 砥粒の滞留性に着目した微粒子添加ラッピングによる研磨特性の向上
  • 2018/06 - 工作機械技術振興協会 工作機械技術振興賞
  • 2013/09 - 精密工学会 技術奨励賞 ウェットエッチングを利用した太陽電池シリコンのダメージフリースライシングの開発
  • 2012/02 - 2011年度日本機械学会賞(論文) 「ガラス研磨用多孔質エポキシ樹脂研磨パッドの開発」 村田順二,谷泰弘,広川良一,野村信幸,張宇,宇野純基
Show all
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM