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J-GLOBAL ID:201701011384632281   Update date: Aug. 01, 2024

TAKASHIRO TSUKAMOTO

ツカモト タカシロ | TAKASHIRO TSUKAMOTO
Affiliation and department:
Research field  (1): Nano/micro-systems
Research theme for competitive and other funds  (7):
  • 2022 - 2025 2+1マスMEMS共振子による新たなモード制御法の研究と高性能センサーへの適用
  • 2021 - 2024 零熱膨張ガラスの熱弾性散逸機構の解明とそのデバイス応用
  • 2018 - 2021 Stable / Reliable Sensing and Precise Control of Piezoelectric Thin Film Actuators
  • 2019 - 2021 蒸発と凝縮が混在するマイクロスケール閉鎖系の伝熱特性の解明
  • 2017 - 2020 周波数変調・積分型MEMSジャイロスコープの開発
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Papers (131):
  • Chen, J., Tsukamoto, T., Langfelder, G., Tanaka, S. Two-axis multiple masses resonator with frequency and Q-factor matching. Sensors and Actuators A: Physical. 2024. 366
  • Gong, T., Khan, M.J., Suzuki, Y., Tsukamoto, T., Tanaka, S. Vacuum-Sealed MEMS Resonators Based on Silicon Migration Sealing and Hydrogen Diffusion. Journal of Microelectromechanical Systems. 2024. 33. 3. 369-375
  • Wang, S., Chen, J., Tsukamoto, T., Langfelder, G., Tanaka, S. Challenges in Implementing Pitch/Roll Rate Integrating Gyroscopes: A Case Study on a New Dynamically Balanced Dual-Mass Resonator. IEEE Sensors Journal. 2023. 23. 22
  • Wang, S., Chen, J., Tsukamoto, T., Tanaka, S. Multi-Ring Disk Resonator with Elliptic Spokes for Frequency-Modulated Gyroscope. Sensors. 2023. 23. 6. 2937-2937
  • Muhammad Jehanzeb Khan, Yukio Suzuki, Tianjiao Gong, Takashiro Tsukamoto, Shuji Tanaka. Mems Resonator Vacuum-Sealed by Silicon Migration and Hydrogen Outdiffusion. Proceedings of the IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS). 2023. 2023-January. 661-664
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MISC (6):
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Patents (20):
  • 熱弾性効果を用いたQ値ミスマッチの補償方法
  • ジャイロ装置およびジャイロ装置の制御方法
  • MEMSジャイロスコープの周波数・Q値自動マッチング方法
  • アレルゲンセンシングシステム
  • ウェハレベル高真空封止技術
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Books (1):
  • センサフュージョン技術の開発と応用事例 ~自動運転車、協働ロボットへ向けて~
    技術情報協会 2019 ISBN:9784861047367
Lectures and oral presentations  (51):
  • Dynamically Balanced Out-of-Plane Resonator for Roll/Pitch Rate Integrating Gyroscope
    (第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 2019)
  • Fabrication method of micromachined quartz glass resonator using temporal Au supporting structures
    (第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2019)
  • Quality Factor Trimming Method Using Thermoelastic Dissipation for Ring-Shape MEMS Resonator
    (第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウム 2019)
  • PZT thin film actuator with integrated buried piezoresistive sensors for high precision and stability
    (第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 2019)
  • Investigation of Mechanical and Electrical Properties of Electroplated Aluminum Film from AlCl3-[EMIm]Cl Ionic Liquid
    (第36回「センサ・マイクロマシンと応用システム」 2019)
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Professional career (1):
  • Ph.D (Tohoku University)
Committee career (16):
  • 2018/04 - 2024/03 日本機械学会 マイクロ・ナノ部門 運営委員
  • 2024 - APCOT2024 Technical Program Committee, Member
  • 2024 - IEEE MEMS2024 Technical Program Committee, Member
  • 2024 - IEEE INERTIAL2024 General Chair
  • 2021/04 - 2023/03 JSME Secretary of Micro-nano machining division
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Awards (8):
  • 2023/11 - 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門 貢献表彰
  • 2023/09 - 公益財団法人 里見奨学会 令和5年度 里見賞(最優秀賞) 感温ガラス薄膜を用いた赤外線検出器アレイ
  • 2019/03/20 - 日本機械学会 情報・知能・精密機器部門 ベストプレゼンテーション表彰 仮想回転を用いた高バイアス安定CW/CCWモード分離型MEMS積分ジャイロスコープ
  • 2018/12/13 - The International Display Workshops Outstanding Poster Award Speckle Reduction Device Using Two-Axis Resonant Microstage
  • 2016/09/22 - JCK MEMS/NEMS Best Poster Award Vapor Chamber Type Micro Thermal Diode
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Association Membership(s) (3):
IEEE ,  THE INSTITUTE OF ELECTRICAL ENGINEERS OF JAPAN ,  THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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