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J-GLOBAL ID:201801001601426360
Update date: Dec. 17, 2024
Sugawa Shigetoshi
スガワ シゲトシ | Sugawa Shigetoshi
Affiliation and department:
Job title:
Professor
Homepage URL (1):
https://www.fff.niche.tohoku.ac.jp/
Research field (1):
Electronic devices and equipment
Research keywords (4):
Electronics
, Semiconductor
, CMOS
, Image Sensor
Research theme for competitive and other funds (11):
- 1999 - 現在 Image Sensor, Electronic Device, Integrated Circuit, Semiconductor Process
- 2021 - 2026 作物の生理障害の機構解明におけるブレークスルーテクノロジーの開発と検証
- 2015 - 2018 Establishment of a CMOS image sensor with photon countable sensitivity, linear response and high full well capacity
- 2012 - 2015 Accurate measurement and statistical analysis of gate leakage current of MOSFETs with atomically flat interface
- 2007 - 2008 A high performance CMOS image sensor with high sensitivity and wide dynamic range
- 2004 - 2005 An over-100dB wide dynamic range solid-state image sensor with high sensitivity and high S/N ratio.
- 2002 - 2003 Ultra-High-Speed and High-Precision Integration Circuit Using Si(110) Surface Metal Substrate SOI Balanced-CMOS
- 2001 - 2003 微細化世代に依存しないダメージフリー新規コンタクト/ビア形成技術の研究
- 2001 - 2002 Photo-resist. Stripping. Technology. by. Gas-liquid. mixture. for. Highly-efficient. Ultra-short-time. Semiconductor. Manufacturing
- 2001 - 2002 Highly Sesitive and High-resolution Amplification Solid-State Imagine System with Instant Imaging Parareli Processor
- 2000 - 2001 Development of ultra-high-speed LSI with gas-isolated-interconnects and Ta metal gate transistors on SOI substrate
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Papers (660):
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Tetsu Oikawa, Rihito Kuroda, Aoi Hamaya, Yoshinobu Shiba, Takafumi Inada, Yushi Sakai, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa. A High SNR Global Shutter CMOS Image Sensor Technology for High Precision Absorption Imaging Applications. ITE Transactions on Media Technology and Applications. 2024. 12. 2. 167-174
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Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Keita Katayama, Shu Nishida, Hiroshi Ikenoue, Shigetoshi Sugawa. Threshold voltage uniformity improvement by introducing charge injection tuning for low-temperature poly-Si thin film transistors with metal/oxide/nitride/oxide/silicon structure. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 2. 02SP51
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Masayoshi Takahashi, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa. Nanoshell Formation at the Electrically Charged Gas-Water Interface of Collapsing Microbubbles: Insights from Atomic Force Microscopy Imaging. The Journal of Physical Chemistry Letters. 2024. 15. 1. 220-225
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Masayoshi Takahashi, Masahiro Nakazawa, Takahiro Nishimoto, Mitsuyuki Odajima, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa. Impact of Bulk Nanobubble Water on a TiO2 Solid Surface: A Case Study for Medical Implants. Langmuir. 2024
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Y. Sakai, Y. Shiba, T. Inada, T. Goto, T. Suwa, T. Oikawa, A. Hamaya, A. Sutoh, T. Morimoto, Y. Shirai, et al. Visualization and Analysis of Temporal and Steady-State Gas Concentration in Process Chamber Using 70-dB SNR 1,000 fps Absorption Imaging System. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 2023. 36. 4. 515-519
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MISC (270):
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間脇 武蔵, 村冨 孝輔, 荻野 晃汰, 酒井 勇志, 稲田 貴郁, 橋本 圭市, 森本 達郎, 諏訪 智之, 白井 泰雪, 須川 成利, et al. 高 SNR・高速グローバルシャッタ CMOS イメージセンサによるリアルタイム流体濃度分布計測. 第 36 回マイクロエレクトロニクス研究会プロシーディング. 2024. 29-34
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酒井勇志, 稲田貴郁, 間脇武蔵, 諏訪智之, 森本達郎, 白井泰雪, 須川成利, 黒田理人. 高速・高 SNR 吸光イメージングシステムによる真空チャンバ内のガス濃度分布計測および解析. 電子情報通信学会技術研究報告, シリコン材料・デバイス研究会. 2024. 124. 222. 10-3
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Koga Saito, Tatsuhiko Suzuki, Hidemi Mitsuda, Takezo Mawaki, Tomoyuki, Suwa, Akinobu Teramoto, Shigetoshi Sugawa, Rihito Kuroda. Impedance Measurement Platform Technology Toward Statistical Evaluation of Semiconductor Devices. 2023. 33-39
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Takafumi Inada, Yushi Sakai, Akihito Suto, Tatsuo Morimoto, Tomoyuki Suwa, Yasuyuki Shirai, Shigetoshi Sugawa, Rihito Kuroda. Measurement of TEMAZ concentration in process chamber by UV absorption method. 2023. 29-31
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光田薫未, 鈴木達彦, 齊藤宏河, 間脇武蔵, 須川成利, 黒田理人. 抵抗計測プラットフォームを用いた HfOx 膜抵抗変化の統計的計測. 第 84 回応用物理学会秋季学術講演会. 2023. 23a-A303-4. 12-245
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Patents (334):
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容量検出エリアセンサ及び、その容量検出エリアセンサを有する導電パターン検査装置
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Light-receiving device and method for reading out signal of light-receiving device
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光センサ及びその信号読み出し方法並びに固体撮像装置及びその信号読み出し方法
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光センサ装置
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時分割分光イメージング分析システム及び時分割分光イメージング分析方法
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Books (8):
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The Micro-World Observed by Ultra High-Speed Cameras: We See What You Don’t See
Springer 2017
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写真の辞典
日本写真学会 2014
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画像入力とカメラ
オーム社 2012
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知識ベース
電子情報通信学会 2011
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デジタルカメラの最先端技術
株式会社 技術情報協会 2004
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Lectures and oral presentations (45):
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高性能コヒーレント軟X線回折イメージセンサsxCMOSの開発
(PF研究会 2022)
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先端軟X線科学への基幹技術, 軟X線検出CMOSイメージセンサsxCMOSの開発
(ISSP Workshop 2021 2021)
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CMOSイメージセンサの感度・飽和・撮影速度・分光感度帯域性能の追究
(映像情報メディア学会創立70周年記念大会 2020)
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CMOS イメージセンサの広ダイナミックレンジ・高速・広分光感度性能の追究
(電気化学会半導体・集積回路技術シンポジウム 2020)
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軟X線検出CMOSイメージセンサ
(第33回日本放射光学会年会 放射光科学合同シンポジウム 2020)
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Education (3):
- 1995 - 1996 Tohoku University Graduate School of Engineering Department of Electronics
- 1980 - 1982 Tokyo Institute of Technology Graduate School of Science and Engineering Department of Physics
- 1978 - 1982 Tokyo Institute of Technology Faculty of Science Department of Physics
Professional career (2):
- Doctor of Engineering (Tohoku University)
- Master(Science) (Tokyo Institute of Technology)
Work history (2):
- 1999/09 - 現在 Tohoku University
- 1982/04 - 1999/08 Canon Inc.
Awards (14):
- 2024/05 - 映像情報メディア学会 丹羽高柳賞 功績賞
- 2022/05 - 61st. Niwa-Takayanagi Award High Accuracy High Spatial Resolution and Real-Time CMOS Proximity Capacitance Image Sensor Technology and its Applications
- 2022/05 - 国立研究開発法人科学技術振興機構 第47回(令和4年度)井上春成賞 高速度ビデオカメラの開発
- 2016/11 - International Congress on High Speed Imaging and Photonics The 2016 nac High Speed Imaging Award The development of Ultra High Speed CMOS Image Sensor
- 2015/06/17 - 公益社団法人発明協会 全国発明表彰日本経済団体連合会会長発明賞
- 2015/06/10 - Program Committee, 2015 International Image Sensor Workshop 2015 International Image Sensor Workshop Best Poster Award
- 2015/05 - 映像情報メディア学会 映像情報メディア学会フェロー称号授与
- 2014/12/17 - 映像情報メディア学会 映像情報メディア学会 第17回・平成26年度優秀研究発表賞 20Mfpsの撮像速度を有する超高速CMOSイメージセンサの画素構造
- 2009/05 - 映像情報メディア学会 丹羽高柳賞 論文賞 局所境界要素法によるイメージセンサの3次元波動光学シミ ュレーション
- 2008/12 - 映像情報メディア学会 優秀研究発表賞 大規模アレイTEGを用いた画素ソースフォロア相当のトランジス タのランダム・テレグラフ・シグナル・ノイズの統計的解析
- 2008/07 - 日本機械学会 生産システム部門 技術業績賞 群企画製品のモジュール化設計をベースとした生 産システムの開発
- 1991/05 - キヤノン株式会社 特許審査委員会賞 光電変換装置開発
- 1990/05 - キヤノン株式会社 社長賞 固定パターンノイズを低減させた光電変換装置開発
- 1988/05 - キヤノン株式会社 特別社長賞 BASISオートフォーカスセンサ開発
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Association Membership(s) (2):
The Institute of Image Information and Television Engineering
, The Institute of Electrical and Electronics Engineering (IEEE)
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