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J-GLOBAL ID：201801013486786780   Update date: Apr. 11, 2024

Takigawa Ryo

Takigawa Ryo
Affiliation and department：
Kyushu University

About Kyushu University


Job title： Associate professor
Other affiliations (1)：
  • IMEC  Visiting associate professor
Research field  (4)： Electronic devices and equipment ,  Manufacturing and production engineering ,  Thin-film surfaces and interfaces ,  Nano/micro-systems
Research keywords  (1)： Heterogeneous integration&packaging, Room temperature bonding, Hybrid bonding, Co-packged photonics Surface cleaning technology, RF photonics, LNOI, X-material on insulator, Bump boinding , Passive alignment、MEMS packaging
Research theme for competitive and other funds  (9)：
  • 2024 - 2028 低温ナノ接合界面における光電子機能創成と革新的ヘテロ集積デバイス技術基盤への展開
  • 2021 - 2027 Ultrafast super-resoution optical sensor for captureing spatio-temporal information
  • 2021 - 2024 異種材料集積化に向けた活性化透明極薄膜による大気中室温接合への挑戦
  • 2022 - 2024 Hybrid bonding
  • 2020 - 2023 低温ナノ接合界面における光学機能発現と集積フォトニクス応用
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Papers (55)：
  • Gufei Zhang, Seigo Murakami, Ryo Takigawa. Room-Temperature Bonding of Indium Phosphide Wafers and Their Atomic Structure at the Bond Interface. ACS Applied Electronic Materials. 2023. 5. 11. 5995-6002
  • Kaname Watanabe, Seigo Murakami, Yuya Yamaguchi, Atsushi Kanno, Ryo Takigawa. 常温ウエハ接合によりSi上に集積された低駆動電圧型LNOI光変調器. IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 2023. 143. 7. 202-203
  • Kaname Watanabe, Ryo Takigawa. Fabrication of heterogeneous LNOI photonics wafers through room temperature wafer bonding using activated Si atomic layer of LiNbO3, glass, and sapphire. APPLIED SURFACE SCIENCE. 2023. 620
  • Takumi Hiejima, Hirofumi Nogami, Aya Saito, Kazuyuki Ban, D. S. V. Bandara, Ryo Takigawa, Jumpei Arata. Non-wearable pulse rate measurement system using laser Doppler flowmetry with algorithm to eliminate body motion artifacts for masked palm civet (Parguma larvata) during husbandry training. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SG. SG1047-SG1047
  • Ryo Takakura, Seigo Murakami, Ryo Takigawa. Effect of Ar fast atom beam irradiation on alpha-Al2O3 for surface activated room temperature bonding. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SG. SG1046-SG1046
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MISC (14)：
  • 多喜川良, 日暮栄治, 日暮栄治, 浅野種正. 接合中間層がLNOI光導波路特性に及ぼす影響調査. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2019. 33rd
  • 多喜川良, 日暮栄治, 日暮栄治, 浅野種正. イオンビーム活性化接合法によるSi上LNOI導波路の作製と光伝搬特性評価. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2018. 65th
  • 多喜川良, 日暮栄治, 日暮栄治, 川西哲也, 川西哲也, 浅野種正. 切削加工によるSi基板上LNOI光導波路の作製検討. エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM). 2018. 32nd
  • 多喜川良, 川西哲也, 川西哲也, 日暮栄治, 日暮栄治, 浅野種正. Optical characteristics of Lithium niobite ridged waveguide fabricated by ultra-precision ductile-mode cutting method. センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM). 2018. 35th
  • 多喜川 良. 招待講演 Auを用いた大気中低温接合によるLiNbO3光デバイス実装 (マイクロ波・ミリ波フォトニクス). 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報. 2017. 117. 292. 7-11
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Professional career (1)：
  • 博士(工学) (東京大学)
Work history (2)：
  • 2023/04 - Interuniversity Microelectronics Centre (IMEC)
  • 2008/10 - Fraunhofer-Gesellschaft IZM
Committee career (6)：
  • 2018/04 - 現在 電気学会「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 論文委員
  • 2018/04 - 現在 エレクトロニクス実装学会 春季講演大会プログラム委員
  • 2017/04 - 現在 マイクロメカトロニクス技術実装委員会 技術委員
  • 2016/10 - 現在 日本学術振興会第191委員会 学界委員
  • 2015/04 - 現在 International Microprocesses and Nanotechnology Conference セクションヘッド・論文委員
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Awards (4)：
  • エレクトロニクス実装学会 第37回春季講演大会 優秀賞 室温接合法により形成されたLiNbO3/Si接合界面の原子スケール解析
  • 電気学会 第39回「センサ・マイクロマシンと 応用システム」シンポジウム 奨励賞 常温ウエハ接合によりSi上に集積された低駆動電圧型LNOI光変調器アレイ
  • エレクトロニクス実装学会 第33回春季講演大会優秀賞 接合中間層がLNOI光導波路特性に及ぼす影響
  • エレクトロニクス実装学会 第24回研究奨励賞 Siプラットフォーム上にハイブリッド集積したLiNbO3光変調器のカップリング効率と変調特性
Association Membership(s) (3)：
エレクトロニクス実装学会 ,  精密工学会 ,  応用物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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