Yamamoto Hiroki

ヤマモトヒロキ | Yamamoto Hiroki

Affiliation and department：
Job title：主幹研究員(定常)

Research field (3)： Nanomaterials , Material fabrication and microstructure control , Quantum beam science

Research keywords (8)：極端紫外光(EUV) , ブロック共重合体 , 自己組織化 , ナノ粒子 , リソグラフィ , 量子ビーム , レジスト , 放射線化学

Research theme for competitive and other funds (11)：

2022 - 2024 EUVリソグラフィ×自己組織化による分子サイズに迫る超極微細加工技術の創製
2020 - 2023 ダイレクトリソグラフィの実現を指向した金属極細線加工材料・プロセスの創出
2016 - 2020 Development of fine wire for mass production to achieve the precision of less than 1 nm
2013 - 2018 Study on nanochemistry in latest nanofabrication materials using quantum beams
2014 - 2017 Creation of Nanofabrication process for extreme quantum beam using organic-inorganice hybrid nanoparticles

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Papers (105)：

Hiroki Yamamoto, Yuko Tsutsui Ito, Kazumasa Okamoto, Shuhei Shimoda, Takahiro KOZAWA. Study on resist performance of inorganic-organic resist materials for EUV and EB lithography. Japanese Journal of Applied Physics. 2024
Hiroyuki Maekawa, Yutaro Iwashige, Hiroki Yamamoto, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa, Hiroto Kudo. Design of High-sensitive Resist Materials Based on Polyacetals. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2023. 36. 1. 31-39
Hiroyuki Maekawa, Hiroto Kudo, Takeo Watanabe, Hiroki Yamamoto, Kazumasa Okamoto, Takahiro Kozawa. Higher Sensitive Extreme Ultraviolet (EUV) Resist Materials Derived From p-t-Butylcalix[n]arenes (n = 4 and 8). Journal of Photopolymer Science and Technology. 2020. 33. 1. 45-51
Hiroki Yamamoto, Guy Dawson, Takahiro Kozawa, Alex P. G. Robinson. Lamellar Orientation of a Block Copolymer via an Electron-Beam Induced Polarity Switch in a Nitrophenyl Self-Assembled Monolayer or Si Etching Treatments. QUANTUM BEAM SCIENCE. 2020. 4. 2
Yuji Hosaka, Tomoko Gowa Oyama, Hiroki Yamamoto, Masahiko Ishino, Thanh-Hung Dinh, Masaharu Nishikino, Yasunari Maekawa. Sensitivity enhancement of poly(methyl methacrylate) upon exposure to picosecond-pulsed extreme ultraviolet. APPLIED PHYSICS LETTERS. 2019. 115. 7

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MISC (42)：

岡本一将, 山本洋揮, 山本洋揮, 古澤孝弘. Approach to Delocalization of Positive Charge on Polystyrene by Pulse Radiolysis and Simulation. 日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM). 2022. 2022
瀬木利夫, 山本洋揮, 古澤孝弘, 荘所正, 小池国彦, 青木学聡, 松尾二郎. 反応性ガスクラスターインジェクションを用いた斜め2方向エッチングによる3D構造の作成. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2018. 65th
岡本一将, 岡本一将, 河合俊平, 山本洋揮, 古澤孝弘. パルスラジオリシスによるフェニルスルホン化合物の放射線化学反応. 日本原子力学会春の年会予稿集(CD-ROM). 2018. 2018
岡本一将, 山本洋揮, 小林一雄, 古澤孝弘. フッ素系EUVレジストモデル分子の放射線誘起初期過程. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2018. 79th
堀成生, 岡本一将, 岡本一将, 山本洋揮, 室屋裕佐, 古澤孝弘, 大沼正人. 液体フェニルシラン誘導体のパルスラジオリシス. 放射線化学討論会講演要旨集. 2018. 61st

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Lectures and oral presentations (29)：

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Professional career (1)：

Work history (7)：

2019/04 - 現在 Gunma University
2018/07 - 現在 National Institutes for Quantum and Radiological Science and Technology
2018/01 - 現在 Osaka University The Institute of Scientific and Industrial Research
2018/01 - 2018/06 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構高崎量子応用研究所先端機能材料研究部主任研究員(定常)
2011/08 - 2017/12 Osaka University The Institute of Scientific and Industrial Research

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Committee career (3)：

Awards (5)：

Association Membership(s) (4)：

ラドテック研究会 , 高分子学会 , 応用物理学会 , 日本放射線化学会

※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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