KOBAYASHI Hiroshi

コバヤシヒロシ | KOBAYASHI Hiroshi

Affiliation and department：
Job title： Professor

Research field (2)： Measurement engineering , Optical engineering and photonics

Research keywords (3)： MEMS , 計測 , 光リソグラフィー

Research theme for competitive and other funds (1)：

2020 - 2023 Research on lithography using projection exposure of stereophonic surface

Papers (30)：

Tomoki Iwaoka, Toshiyuki Horiuchi, Hiroshi Kobayashi. Miniaturization of Scattered Random Patterns Formed by Lens·less Speckle Lithography. 2024. 36. 403-409
Toshiyuki Horiuchi, Jun-Ya Iwasaki, and Hiroshi Kobayashi. Distortions of parabolic mirror optics for stereophonic lithography and prospects of compensations. Journal of Applied Physics. 2024. 63
○服部将太郎・新谷賢司・小林賢治・堀内敏行・小林宏史. 円錐ミラーを用いた金属パイプ試料への内面円周一括露光技術の研究. 2024年度精密工学会春季大会学術講演論文集. 2024
○三枝聖輝・増田直人・岩岡友希・堀内敏行・小林宏史. 体積散乱体拡散板を用いたスペックル光リソグラフィによるランダムパターン形成. 2024年度精密工学会春季大会学術講演論文集. 2024
○小宮菖梧・岩岡友希・堀内敏行・小林宏史. スペックル光リソグラフィによる針状レジストパターンの微細化. 2024年度精密工学会春季大会学術講演論文集. 2024

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MISC (8)：

堀内敏行, 大塚直幸, 福原豪晴, 小林宏史. 屈折率分布型レンズアレイ投影露光リソグラフィによる厚膜レジストパターン形成. 電気学会研究会資料. 2023. LAV-23-010. 1-6
堀内敏行,小林宏史. 平面レチクルを用いた対向放物面ミラー立体投影露光の可能性. 2023年第70回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集. 2023
堀内敏行, 小林宏史. 青色発光ダイオードでコリメート照明した対向放物面鏡面立体投影リソグラフィによるスプーン面へのパターン形成の実証. 2022
○堀内敏行, 小林宏史. 一方向照明の適用による放物面投影露光レジストパターンの改善. 2022年第69回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集. 2022. 26p-F3-8-1
〇堀内敏行, 小林宏史. 対向放物面ミラープロトタイプ露光装置を用いたレジストパターン形成の実証. 2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集. 2021

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Patents (3)：

Lectures and oral presentations (11)：

Projection Lithography Using Squared 125-μm Optical Fiber and LED Matrices
(Photomask Japan 2024 2024)
Projection Exposure on Overall Inner Surfaces of Cylindrical Pipes Using a Cone Mirror
(Photomask Japan 2024 2024)
回転放物面鏡を用いた立体リソグラフィ光学系の歪みと光強度分布の補正
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
円錐ミラーを用いた金属パイプ試料への内面円周一括露光技術の研究
(2024年度精密工学会春季大会 2024)
体積散乱体拡散板を用いたスペックル光リソグラフィによるランダムパターン形成
(2024年度精密工学会春季大会 2024)

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Works (3)：

Education (1)：

Work history (1)：

Committee career (10)：

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Association Membership(s) (2)：

精密工学会 , 応用物理学会

※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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