Takeuchi Masaya

タケウチマサヤ | Takeuchi Masaya

Affiliation and department：
Job title： Assistant professor

Research field (3)： Thin-film surfaces and interfaces , Quantum beam science , Quantum beam science

Research keywords (5)： synchrotron radiaiton , Nanoprocess , Microfabrication , Cluster ion beam , Surface science

Research theme for competitive and other funds (5)：

2023 - 2026 ジケトン分子吸着過程およびガスクラスターイオンビーム照射による表面反応過程の解明
2022 - 2025 Ultra-precise fabrication technology by location specific atomic layer etching with cluster beam
2022 - 2023 溶液の高感度XPS測定用窓材料のガスクラスターイオンビームによる原子層エッチング
2022 - 2023 ガスクラスターイオンビームによるXPS溶液測定用セルの光電子検出窓の高性能化
2022 - 2023 ガスクラスターイオンビームを用いた極薄SiN膜の耐圧性向上の検討

Papers (17)：

Masaya Takeuchi, Noriaki Toyoda. Pressure resistance evaluation of an ultrathin SiNx membrane etched by a gas cluster ion beam. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2024. 550. 165317-165317
Masaya Takeuchi, Reki Fujiwara, Noriaki Toyoda. Atomic layer etching of silicon nitride film by oxygen gas cluster ion beam with acetylacetone. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SG. SG1051-SG1051
S. Hanahara, M. Takeuchi, N. Toyoda. Surface preparation of metal films by gas cluster ion beams using organic acid vapor for Cu-Cu bonding. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. SF. SF1004-SF1004
Kohzo Tamada, Sho Amano, Kana Okamoto, Masaya Takeuchi, Akinobu Yamaguchi, Yuichi Utsumi, Tohru Yamasaki. Fabrication of Ni-W microgears using LIGA process. Sensors and Materials. 2021. 33. 12. 4455-4460
Mitsuyoshi KISHIHARA, Masaya TAKEUCHI, Akinobu YAMAGUCHI, Yuichi UTSUMI, Isao OHTA. Design and Fabrication of PTFE Substrate Integrated Waveguide Coupler by SR Direct Etching. IEICE TRANSACTIONS on Electronics. 2021. E104-C. 9. 446-454

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Lectures and oral presentations (24)：

液体、気体、生物試料の真空中分析
(第84回分析化学討論会)
GCIB照射で極薄化した電子線透過窓を用いた液体セルによるSEM/EDS検出の高感度化
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
GCIBエッチングを用いたSiNx膜の極薄化と液体セル電子透過窓への適用
(電子情報・システム部門光・量子デバイス研究会 2023)
Reactive etching and pressure resistance evaluation of SiNx film by O2-GCIB for electron transmission window of liquid cell
(MNC2023 2023)
Imaging and spectroscopy of liquid-water using X-ray PEEM
(Frontier of Soft X-ray Spectroscopy for Chemical Processes in Solutions 2023)

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Education (3)：

2017 - 2020 University of Hyogo Graduated school of engineering Department of Materials and Synchrotron Radiation Engineering
2015 - 2017 University of Hyogo Graduated school of engineering Department of Materials and Synchrotron Radiation Engineering
2011 - 2015 University of Hyogo School of Engineering Department of Electrical Engineering and Computer Sciences

Professional career (1)：

Work history (4)：

2021/06 - 現在東京大学物性研究所嘱託研究員
2021/04 - 現在 University of Hyogo Graduate School of Engineering Assistant professor
2020/07 - 2021/03 The University of Tokyo
2020/04 - 2020/07 University of Hyogo Laboratory of Advanced Science and Technology for Industry

Committee career (4)：

Awards (5)：

2024/02 - 電気学会電子情報・システム部門光・量子デバイス研究会技術委員奨励賞 GCIBエッチングを用いたSiNx膜の極薄化と液体セル電子透過窓への適用
2022/05 - 応用物理学会第52回(2022年春季)応用物理学会講演奨励賞 GCIBを用いた原子層エッチングによるSi3N4膜の極薄化及びその耐圧性評価
2018/07 - The 9th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS Best Presentation Award Characteristics of new deep X-ray lithography beamline (BL11) at NewSUBARU
2018/03 - 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所先端技術セミナー 2018 学生ポスター賞汎用ディープX線リソグラフィービームライン(BL11)を用いた大面積均一加工の検討
2016/10 - 応用物理学会第8回集積化MEMSシンポジウム (口頭発表) 研究奨励賞免疫測定のための高精度単位化学操作を実現するLab-on-a-CDの提案

Association Membership(s) (3)：

電子情報通信学会 , 応用物理学会 , 電気学会

※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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