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J-GLOBAL ID:200901008377415913
Update date: Sep. 26, 2024
Sanekata Masaomi
サネカタ マサオミ | Sanekata Masaomi
Affiliation and department:
Job title:
Associate Professor
Homepage URL (1):
http://www.gen.t-kougei.ac.jp/physics/
Research field (4):
Applied physics - general
, Applied plasma science
, Applied plasma science
, Nanomaterials
Research keywords (4):
High-power pulsed magnetron sputtering
, Plasma spectroscopy and diagnostics
, Mass spectrometry
, Surface plasmon
Research theme for competitive and other funds (9):
- 2024 - 2025 難切材加工向け高精度PVDコーティングスクエアエンドミルの研究開発
- 2021 - 2025 高出力パルスマグネトロンスパッタリングの成膜領域における新規イオン密度分光計測法
- 2023 - 2024 パンチ・ダイ向け厚膜クロム系硬質皮膜の研究開発
- 2022 - 2023 新製品「金型加工用不等分割ボールエンドミル」の開発と販路拡大
- 2019 - 2020 高精度高能率穴加工を実現する魔法角®リーマの設計開発
- 2017 - 2019 精密膜厚制御PVD法による超高精度穴加工工具の研究開発
- 2007 - 2009 非線形摂動分光法による金ナノロッドの量子井戸準位間遷移の観測
- 2000 - 2002 金属シリサイドクラスターの微視的合金化過程
- 1998 - 2000 表面プラズモン励起金属ナノクラスターによる光化学反応と量子サイズ効果
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Papers (26):
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Katsuki Nomura, Nobuo Nishimiya, Tokio Yukiya, Masaomi Sanekata. Saturated Absorption Spectroscopy for Analyzing 5s[3/2]2 → 5p[5/2]3 Transition of Kr I. Journal of the Physical Society of Japan (JPSJ). 2024. 93. 094301-(5 pages)
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Masaomi Sanekata. Development and Prospects on Multi-Component and Real-Time Analysis Method by Using a Time-of-Flight Mass Spectrometer in High Power Pulsed Magnetron Sputtering (HPPMS). SPUTTERING & PLASMA PROCESSES. 2023. 38. 1. 11-19
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Eisuke Yokoyama, Masaomi Sanekata, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Keizo Tsukamoto, Kiyokazu Fuke, Keijiro Ohshimo, Fuminori Misaizu. Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SL. SL1008-(7 pages)
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M. Sanekata, Y. Nakagomi, M. Hirayama, H. Nishida, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo, et al. Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium. Journal of Applied Physics. 2022. 131. 24. 243301-(7 pages)
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SANEKATA, Keizo Tsukamoto, Fuminori MiasaizuFuminori Miasaizu. Development of a Plasma Diagnostic Method for High Power Pulsed Magnetron Sputtering Using a Reflectron-Type Time-of-Flight Mass Spectrometer. Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan. 2022. 70. 1. 30-35
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Patents (1):
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クイックカップリングを用いた簡易真空窓枠及び真空装置
Lectures and oral presentations (36):
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深振動マグネトロンスパッタリング(DOMS) プラズマにおける発光分光分析(OES)を用いたAr原子の励起発光過程に関する解析
(第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024)
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深振動マグネトロンスパッタリングにおけるプラズマ生成粒子の時間発展計測
(第18回分子科学討論会 2024)
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リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた深振動マグネトロンスパッタリングの多成分同時検出エネルギー分布計測
(第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024)
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深振動マグネトロンスパッタリングにおいて生成する中性Ti粒子のレーザー誘起蛍光
(第85回応用物理学会秋季学術講演会 2024)
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Time-evolution measurements of ion particles formed in high-power pulsed magnetron sputtering using a reflectron-type time-of-flight mass spectrometer
(The 17th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(ISSP2024) 2024)
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Education (1):
- - 1994 The Graduate University for Advanced Studies
Professional career (1):
- Doctor(Science) (The Graduate University for Advanced Studies)
Work history (7):
- 2022 - 現在 Tokyo Polytechnic University
- 2003 - 2021 Tokyo Polytechnic University
- 2008 - 2013 Kokushikan University School of Science and Engineering
- 2001 - 2003 Visiting reserach fellow, Nihon University
- 1999 - 2000 Research assistant, Faculty of Science and Technology, Faculty of Science and Technology
- 1995 - 1999 Research assistant, College of Humanities and Sciences, Nihon University College of Humanities and Sciences
- 1994 - 1995 岡崎国立共同研究機構 分子科学研究所 IMSフェロー
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Committee career (1):
- 2024/04 - 現在 日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)幹事
Awards (1):
- 1999 - 第11回日本MRS学術シンポジウム奨励賞
Association Membership(s) (7):
日本真空表面学会
, Japan Society for Molecular Science
, 応用物理学会
, 日本化学会
, 日本分光学会
, 日本物理学会
, ナノ学会
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