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J-GLOBAL ID:200901028547367316
Update date: Aug. 04, 2024
Saito Yoji
サイトウ ヨウジ | Saito Yoji
Affiliation and department:
Job title:
Professor
Homepage URL (1):
http://www.sd.seikei.ac.jp/lab/device/
Research field (1):
Electric/electronic material engineering
Research keywords (7):
Solar cells
, センサ
, 薄膜
, エッチング
, 集積回路プロセス
, Thin Films
, Fabrication process of Integraded Circuits
Research theme for competitive and other funds (16):
- 2008 - 2013 人と環境に優しい統合化された社会システム研究基盤整備
- 2005 - 2008 多結晶半導体太陽電池におけるプラズマレスドライテクスチャー化プロセスの研究
- 2002 - 2005 マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究
- 1995 - 1995 励起窒素酸素によるシリコン絶縁膜形成プロセスの研究
- 1993 - 1994 Passivation of semiconductor surfaces with low-energy hydrogen
- 1991 - 1991 半導体ー金属接触構造のヘリウム準安定原子と吸着キセノン光電子による微視的研究
- 1991 - 1991 マイクロ波励起リモ-トプラズマを用いた新しい混晶半導体単結晶薄膜成長
- 1991 - 1991 極端紫外光による高性能アモルファス材料の作製と高効率太陽電池への応用
- 1988 - 1988 高効率多層アモルファス太陽電池の高エネルギ照射劣化現象
- 1987 - 1988 Synchrotron radiation assisted deposition of amorphous thin films
- 1987 - 1987 高効率アモルファス太陽電池のシンクロトロン放射光による劣化現象
- 半導体の表面処理に関する研究
- Etching
- Ultrathin gate-dielectric films
- Solar Cell materials
- Study on surface treatment of semiconductors
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Papers (71):
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Takahiro Himuro, Shota Tsukamoto, Yoji Saito. Fabrication of a Deoxyribonuclease Sensor Based on the Electrical Characteristics of DNA Molecules. ACS Omega. 2022. 7. 27. 23549-23554
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Takahiro Himuro, Shota Tsukamoto, Yoji Saito. Fabrication of a Deoxyribonuclease Sensor Based on the Electrical Characteristics of DNA Molecules. ACS OMEGA. 2022
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Takahiro Himuro, Yoji Saito. Assessment of Deoxyribonuclease Activity Using DNA Molecules Immobilized Between Microelectrodes. JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS. 2021. 50. 2. 537-542
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T. Himuro, S. Tsukamoto, Y. Saito. Electrical evaluation of DNA stretched and immobilized between triangular-shaped electrodes. J. Electronic Materials. 2019. 48. 3. 1562-1567
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Takahiro Himuro, Shota Tsukamoto, Yoji Saito. Electrical detection of deoxyribonuclease using DNA molecules immobilized between microelectrodes. 23rd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2019. 2019. 1234-1235
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MISC (23):
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宮川雄, 中村翔太郎, 氷室貴大, 齋藤洋司. Electrical Properties of Tungsten- and Titanium-doped Vanadium Oxide Films Prepared by a Sol-Gel Method. 材料の科学と工学. 2022. 59. 3. 94-97
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福田陽樹, 中島義治, 氷室貴大, 渡邊良祐, 齋藤洋司. A study on silicon surface passivation effects of alumina thin films prepared by a spin coating method. 日本材料科学会学術講演大会講演予稿集. 2020. 2020
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中島義治, 氷室貴大, 齋藤洋司, 渡邊良祐. スピンコート法で形成したアルミナ膜のシリコン表面パッシベーション効果に関する研究. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2019. 80th
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中島義治, 氷室貴大, 渡邊良祐, 齋藤洋司. スピンコート法で形成したアルミナ膜のシリコン表面パッシベーション効果に関する研究. 日本材料科学会学術講演大会講演予稿集. 2019. 2019
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齋藤 洋司. シリコン太陽電池の新規表面加工技術により発現する光学および電気的特性. 材料の科学と工学. 2015. 52. 2. 2-5
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Patents (2):
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ゲート絶縁膜の形成方法
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酸化膜のドライエッチング方法
Books (15):
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精密加工と微細構造の形成技術-材料・プロセスの最適化、トラブル対策-
技術情報協会 2013
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光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御
技術情報協会 2013
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太陽電池 と 部材 の 開発・製造技術 ~構造・プロセスから見る、耐久性向上・高効率化を目指した各種事例~
情報機構 2010
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太陽電池 革新的技術全集 2009版
技術情報協会 2009
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ガラスの加工技術と製品応用
情報機構 2009
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Lectures and oral presentations (14):
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Development of deoxyribonuclease sensor using DNA molecules immobilized between microelectrodes
(MicroTAS 2018 2018)
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A study on fabrication process of back contact solar cells using p-type silicon substrates
(Int. Conf. on Electrical Engineering 2016 2016)
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Preparation of multi-antireflection films on silicon surface by spin coating method
(Int. Conf. on Electrical Engineering 2016 2016)
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Dry texturing process for crystalline silicon solar cells
(Abstract Japan-Korea International Symposium on Materials Science and Technology 2015 2015)
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Optical properties and morphologies of spin-coated anti-reflection films on textured silicon solar cells
(Proc. Int. Conf. on Elec. Eng. 2015 2015)
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Works (6):
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大気圧プラズマを用いたガラス基板表面の濡れ性改善
2003 -
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Research on the cleaning of glass substrates using atmospheric plasma
2003 -
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ガラス状炭素のエッチング耐性
2001 -
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Research on glass-like carbon
2001 -
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地球温暖化対策クリーニングガスの探索
1998 - 2000
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Education (5):
- 1984 - 1987 慶應義塾大学大学院博士課程 工学研究科 電気工学専攻
- - 1987 Keio University Graduate School, Division of Engineering
- 1982 - 1984 慶応義塾大学大学院修士課程 工学研究科 電気工学専攻
- 1978 - 1982 Keio University
- - 1982 Keio University Faculty of Engineering
Professional career (2):
- Dr. of Engineering (Keio University)
- Master of Engineering (Keio University)
Work history (12):
- 2022/04 - 現在 Seikei University
- 2012/04 - 現在 Seikei University Dept. System Design Professor
- 2005/04 - 2018/03 Seikei University Dept. Mechanical and Electrical Eng. Professor
- 2001/04 - 2010/03 Seikei University Dept. Electrical Eng. & Electron. Professor
- 1993/04 - 2001/03 Seikei University Dept. Electrical Eng. & Electron. Associate Professor
- 1992 - 2001 Assistant Professor, Seikei University
- 2001 - - Professor, Seikei University
- 1998/09 - 1999/09 North Carolina State University Dept. of Physics Visiting Researcher
- 1998 - 1999 Visiting Researcher, North Carolina State University
- 1992/04 - 1993/03 Seikei University Assistant Professor
- 1987/04 - 1992/03 Toyohashi University of Technology
- 1987 - 1992 Research Associate, Toyohashi University of Technology
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Committee career (4):
- 2003/06 - 現在 日本材料科学会 理事
- 2012/11 - 2013/04 武蔵野市 新エネルギー活用検討委員会委員長
- 2005/07 - 2009/06 電気学会 ユビキタス志向ナノマテリアル・プロセス技術調査専門委員会
- 2003/04 - 2008/03 日本材料科学会 第2企画委員会委員長
Awards (3):
- 2020/05 - (一社)日本材料科学会 日本材料科学会 功績賞
- 1989 - 電子情報通信学会東海支部創立50周年記念奨励賞
- 日本材料科学会 日本材料科学会功労賞
Association Membership(s) (3):
日本材料科学会
, 応用物理学会
, 電子情報通信学会
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