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J-GLOBAL ID：200901028982865859
Update date: Sep. 14, 2022
Shimono Tsugio
シモノ ツギオ | Shimono Tsugio
Homepage URL (1)：
http://web.cc.sasebo.ac.jp
Research field (4)：
Inorganic materials
, Analytical chemistry
, Environmental policy and society
, Environmental impact assessment
Research keywords (6)：
分析化学
, 材料リサイクル
, 無機材料
, Analytical Chemistry
, Material Recycling
, Inorganic Material
Research theme for competitive and other funds (4)：
環境浄化材料の研究
電子工業材料廃棄物の有効利用技術の研究
Study on treatment materials of environmental pollutants.
Recycling of waste materials generated from electronic devivice manufacturing process.
Papers (9)：
下野 次男. 7 シリコン基板製造工程から発生するシリコン微粒子懸濁廃水の有効利用に関する検討. 佐世保工業高等専門学校研究報告No.43(2007) pp.41~46. 2007
下野 次男. 1 New method of purification of HF chemicals for very large scale integration manufacruring. Journal of Electrochemical Society, Vol.143, No.12 pp.4119. 1996
下野 次男. 2 半導体用フッ酸系薬品の再生技術. 電子材料,Vol.32, No.6 pp.63. 1993
下野 次男. 3 ULSI製造プロセスにおける微量不純物評価技術とラインモニタリング技術. ウルトラクリーンテクノロジー, Vol.5,No.4,287 pp.292. 1993
下野 次男. 4 A new cleaning solution for metallic impurities on the silicon wafer surface. IEICE TRANS.ELECTRON., VOL.E-75-C, NO.7 pp.812~815. 1992
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MISC (22)：
下野 次男. 4 石炭灰から合成したゼオライトのペレット化に関する研究. 2013年日本化学会中国四国支部大会講要旨集 pp.217(ポスター発表). 2013
下野 次男. 6 海水電解法を用いた海水浄化技術に関する研究. 2012年日本化学会西日本大会講要旨集 pp.163. 2012
下野 次男. 5 廃セッコウの有効利用に関する基礎検討. 2012年日本化学会西日本大会講要旨集 pp.92. 2012
下野 次男. 8 海水電解法を用いた海水浄化技術に関する研究. 2011年日本化学会西日本大会講要旨集 pp.62. 2011
下野 次男. 7 石炭灰から合成したゼオライトによる重金属の除去. 2011年日本化学会西日本大会講要旨集 pp.63. 2011
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Books (8)：
1 技術者倫理の世界
森北出版(株) 全165頁 2002
技術者倫理の世界
森北出版 2002
3 ULSIプロセス材料実務便覧
(株)サイエンスフォーラム 全477頁 1992
2 ULSI製造コンタミネーションコントロール技術
(株)サイエンスフォーラム 全396頁 1992
洗浄プロセス用薬品
ULSIプロセス材料実務便覧(サイエンスフォーラム) 1992
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Education (4)：
- 1981 Kyushu University
- 1981 Kyushu University Graduate School, Division of Natural Science
- 1976 Kagoshima University Faculty of Science
- 1976 Kagoshima University Faculty of Science
Professional career (1)：
(BLANK) (Kyushu University)
Work history (3)：
1981 - 1995 : 日本電気(株)研究所 研究員1996-2001 日本電気(株)研究所 研究部長
1981 - 1995 : NEC Corporation, Research Labs. Researcher1996-2001 NEC Corporation, Research Labs, Senior Manager,
Sasebo National College of Technology Department of Chemical and Biological Engineering, Department of Chemical and Biological Engineering Professor
Association Membership(s) (3)：
日本工学教育協会
, 日本セラミックス協会
, 日本化学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in
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For details, see here
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