Rchr
J-GLOBAL ID:200901030708199731
Update date: Nov. 13, 2024
Kanamori Yoshiaki
カナモリ ヨシアキ | Kanamori Yoshiaki
Affiliation and department:
Job title:
Professor
Other affiliations (2):
-
Tohoku University
Metamaterials Research and Innovation Center (Meta-RIC)
Professor
-
Tohoku University
Green Goals Initiative
Professor
Homepage URL (2):
https://web.tohoku.ac.jp/kanamori/index.html
,
https://web.tohoku.ac.jp/kanamori/en/index.html
Research field (4):
Applied physics - general
, Mechanics and mechatronics
, Optical engineering and photonics
, Nano/micro-systems
Research keywords (14):
Robotics
, Beyond 5G
, 6G
, Biomimetics
, テラヘルツ
, ナノフォトニクス
, Metamaterials
, マイクロマシニング
, ナノマシニング
, ナノインプリント
, サブ波長格子
, サブ波長構造
, 光MEMS
, 光マイクロマシン
Research theme for competitive and other funds (50):
- 2011 - 現在 MEMSによる光メタマテリアルのチューナブル化
- 2011 - 現在 メタマテリアルの応用デバイス
- 2007 - 現在 導波路端面のナノ光学素子による導波路間インターフェースの高機能・低損失化に関する研究
- 2006 - 現在 水素アニール処理による低損失Siナノフォトニックデバイスの製作
- 2005 - 現在 MEMSによる可動シリコン細線導波路
- 2004 - 現在 ナノインプリントリソグラフィーを用いたナノ光学素子の製作
- 2004 - 現在 構造色を利用したカラーフィルタに関する研究
- 2001 - 現在 光MEMS/NEMSに関する研究
- 1998 - 現在 ナノフォトニクス(メタマテリアル/フォトニック結晶/サブ波長構造)およびMEMS/NEMSとの融合技術に関する研究
- 1998 - 現在 バイオミメティクス(生体模倣技術)を応用したナノ光機械・超微細構造の研究開発
- 2021 - 2026 時間変調メタマテリアル非線形フォトニクスの基盤構築
- 2021 - 2024 3次元バルクメタマテリアルが拓く極限屈折率材料と革新的テラヘルツ光学素子の創成
- 2021 - 2024 Mechanistic analysis of bone formation via photobiologic reaction triggered by UVA irradiation
- 2020 - 2023 自由空間型ユニタリ変換光回路のオンチップ集積化
- 2019 - 2022 Thermal environment-responsive smart metamaterials
- 2016 - 2021 Ultra-precision nanosensing using an optical fiber with a meta surface formed at the tip
- 2017 - 2019 Verification of quantum levitation by MEMS metamaterials
- 2016 - 2019 Control of nano-spatial localized photon modes with transfer function of structural deformation of quantum interference metamaterial
- 2016 - 2019 High-efficiency solar-thermophotovoltaic power generation systems using thermal diode based on controlling of thermal radiation spectrum
- 2015 - 2018 High-efficiency rectenna solar cell based on quasi monochromatic conversion of sunlight
- 2012 - 2016 Study of optical circuit platform for GaN/Si hybrid-photonics
- 2013 - 2015 ナノバイオミメティックRGB構造色材料の高機能化と集積化
- 2013 - 2015 MEMS駆動型電磁誘起透明化メタマテリアルによる動的光制御
- 2011 - 2014 Development of new solid state ionic conductors and promotion of chemical reactions related to SOFC operation by nanoscale strain control
- 2011 - 2013 MEMS駆動可変構造による光メタマテリアルの高機能化
- 2009 - 2011 Fundamental study on ultralow loss optical NEMS technology for realization of silicon nano-photonic circuits
- 2007 - 2011 Study of optical micro systems by monolithic integration of silicon with nitride semiconductor
- 2002 - 2009 ガイドモード共鳴格子を用いたエアギャップ可変光フィルタ
- 2002 - 2008 MEMSによるフォトニック結晶の光制御(光スイッチ,波長選択素子)
- 2005 - 2008 High functional telecommunication devices using MEMS technology
- 2005 - 2007 光造形とドライエッチングを用いたマイクロ光学素子の製作
- 2002 - 2007 MEMSアクチュエータを用いた周期可変サブ波長格子の製作
- 2006 - 2007 光導波路端面に製作したナノ周期構造による高効率結合素子および光フィルタ
- 2005 - 2006 回転角センサー体型MEMS光スキャナ
- 2004 - 2006 立体的微細加工技術による曲面ナノモールディング
- 2002 - 2006 Tunable photonic devices fabricated by micro-nano machining for optical communication
- 2004 - 2005 表面回折光学系を用いた熱放射スペクトル制御
- 2003 - 2005 Spectrally selective coherent thermal radiation by near-field optical effects
- 2003 - 2004 ソフトUVナノインプリントリソグラフィ
- 2001 - 2004 高密度光記録メディア駆動用反転スクラッチドライブアクチュエータの製作
- 2003 - 2004 マイクロマシニングによるサブ波長構造制御型効率可変回折光学素子の開発
- 2002 - 2004 光ファイバ上に展開するマイクロマシニング加工
- 2001 - 2003 カム型マイクロアクチュエータを用いたファイバ直接駆動光スイッチ
- 2002 - 2003 量子共鳴効果による周期的表面ナノ構造からの熱放射スペクトル制御
- 2000 - 2003 近接場光加工の大面積化に関する研究
- 1998 - 2001 サブ波長反射防止構造によるLEDの高光取り出し効率化に関する研究
- 1998 - 2001 サブ波長反射防止構造の基礎研究
- 1999 - 2001 Fabrication of micro rotary encoder for robot finger and precision machines
- 1996 - 1998 レーザによるワイヤレスエネルギー伝送
- 1996 - 1998 太陽光間接励起型半導体レーザの開発
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Papers (349):
-
Shun Wakiuchi, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori. Fabrication of silicon microparticle dispersion as terahertz wave refractive index control material. Optics and Laser Technology. 2024. 181. Part C. 112051-112051
-
Minh Van Nguyen, Yoshiaki Kanamori. Integrated RF-MEMS technology for reconfigurable spoof-surface-plasmon-polariton delay-line. Abstracts: The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13). 2024. 115-115
-
Yoshiaki Kanamori. Metamaterials and nanophotonics open up new possibilities for controlling light and terahertz waves. Abstracts: The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13). 2024. 76-76
-
Taro Ikeda, Yoshiaki Kanamori. Free standing diamond nanostructures formed by sacrificial layer etching for nanoelectromechanical actuators. Proceedings of the 20th International Conference on Precision Engineering. 2024. OS22-02-1-OS22-02-4
-
Kohei Chiba, Taiyu Okatani, Naoki Inomata, Yoshiaki Kanamori. Effect of fabrication defects on terahertz wave control characteristics of dielectric metamaterials operating in the terahertz region. Proceedings of the 20th International Conference on Precision Engineering. 2024. OS17-04-1-OS17-04-6
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MISC (83):
-
Metamaterials open up new avenues for optical device development. OPTRONICS. 2024. 43. 514. 112-116
-
金森義明. 三次元バルクメタマテリアル. 粉体技術. 2024. 16. 6. 49-52
-
江副祐一郎, 船瀬龍, 船瀬龍, 永田晴紀, 三好由純, 中嶋大, 三石郁之, 布施綾太, 川端洋輔, BODEN Ralf C., et al. 地球磁気圏X線撮像衛星GEO-Xの現状. 日本天文学会年会講演予稿集. 2024. 2024
-
中嶋大, 江副祐一郎, 船瀬龍, 永田晴紀, 三好由純, 沼澤正樹, 石川久美, 萩野浩一, 三石郁之, KAMPS Landon, et al. 地球磁気圏X線撮像計画GEO-X(GEOspace X-ray imager)の現状 V. 日本天文学会年会講演予稿集. 2023. 2023
-
金森義明. 1.2.3.1節 テラヘルツ分野のメタマテリアル. 2021年度光技術動向調査報告書. 2022. 5-8
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Patents (16):
-
光リング共振器
-
薄膜太陽電池用基板およびそれを用いた薄膜太陽電池
-
光カプラースイッチ
-
光導波路デバイス装置及びその製造方法
-
ミラー装置及びミラー装置の製造方法
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Books (13):
-
6G/7Gのキーデバイス
S&T出版株式会社 2023 ISBN:9784907002978
-
メタマテリアルの設計、作製と新材料、デバイス開発への応用
株式会社 技術情報協会 2022 ISBN:9784861048760
-
メタマテリアル、メタサーフェスの設計・作製と応用技術
(株)R&D支援センター 2020 ISBN:9784905507468
-
Biomimetics from the Perspective of Instrumentation
株式会社シーエムシー・リサーチ 2016 ISBN:9784904482292
-
ウェットプロセスによる精密薄膜コーティング技術
株式会社 技術情報協会 2014
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Lectures and oral presentations (286):
-
Free standing diamond nanostructures formed by sacrificial layer etching for nanoelectromechanical actuators
(The 20th International Conference on Precision Engineering 2024)
-
Effect of fabrication defects on terahertz wave control characteristics of dielectric metamaterials operating in the terahertz region
(The 20th International Conference on Precision Engineering 2024)
-
Integrated RF-MEMS technology for reconfigurable spoof-surface-plasmon-polariton delay-line
(The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13) 2024)
-
Metamaterials and nanophotonics open up new possibilities for controlling light and terahertz waves
(The 13th International Conference on Photonics and Applications (ICPA-13) 2024)
-
Development of an ultra-lightweight X-ray telescope using MEMS technologies for GEO-X
(2024)
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Professional career (2):
- 博士(工学) (Tohoku University)
- 修士(工学) (Tohoku University)
Committee career (113):
- 2018/08 - 現在 MEMS Engineer Forum (MEF) 組織委員会 委員
- 2024/01 - 2025/12 精密工学会 代議員
- 2021/04 - 2023/03 日本機械学会東北支部 会計幹事
- 2020/04 - 2023/03 精密工学会東北支部 事業幹事
- 2009/04 - 2023/03 電気学会 E部門論文委員
- 2020/04 - 2022/03 日本機械学会 代表会員
- 2018/07 - 2021/05 電気学会E部門 スマート社会に向けた高機能・高感度センサ技術に関する調査専門委員会 委員
- 2018/09 - 2021/03 戦略的基盤技術高度化支援事業「ミニマルレーザ水素アニール装置と原子レベルアンチエイリアス(AAA)技術の研究開発」に係る検討委員会 委員
- 2019/11 - 2020/09 砥粒加工学会学術講演会(ABTEC2020)実行委員会 実行委員
- 2018/04 - 2020/03 精密工学会東北支部 庶務幹事
- 2018/04 - 2019/03 電気学会 論文委員会(Eグループ) 幹事
- 2018/03 - 2019/03 日本機械学会東北支部第54期講演会 実行委員
- 2016/04 - 2019/03 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門代議員
- 2016/04 - 2019/03 日本機械学会 マイクロ・ナノ工学部門運営委員
- 2012/01 - 2019/03 The Korean Society for Precision Engineering (韓国精密工学会) Editorial Board member of International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
- 2018/04 - 2019/02 International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2019 International Program Committee
- 2018/02 - 2018/09 平成30年度E部門総合研究会論文委員会 委員
- 2016/05 - 2018/04 電気学会 メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成に関する調査専門委員会 委員長
- 2016/05 - 2018/04 電気学会 メタマテリアル・プラズモニック構造を基軸とする新機能創成に関する調査専門委員会 委員長
- 2016/08 - 2018/03 電気学会 論文委員会(Eグループ) 幹事
- 2016/08 - 2018/03 電気学会 論文委員会(Eグループ) 幹事
- 2016/04 - 2018/03 精密工学会東北支部 会計幹事
- 2017/02 - 2018/01 第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会 委員
- 2017/02 - 2018/01 第34回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会 委員
- 2017/01 - 2018/01 International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2018 International Program Committee
- 2016/12 - 2017/09 OIE'17 International Organizing Committee (Program Committee)
- 2016/11 - 2017/09 電気学会 平成29年度E部門総合研究会論文委員会 幹事
- 2016/11 - 2017/09 電気学会 平成29年度E部門総合研究会論文委員会 幹事
- 2016/08 - 2017/06 電気学会平成29年全国大会グループ委員会 11グループ委員
- 2016/08 - 2017/06 電気学会平成29年全国大会グループ委員会 11グループ委員
- 2017/06 - 電気学会誌 Vol. 137(2017) No. 6 特集:メタマテリアル・プラズモニクス光デバイスの応用最前線 ゲストエディタ
- 2017/06 - 電気学会誌 Vol. 137(2017) No. 6 特集:メタマテリアル・プラズモニクス光デバイスの応用最前線 ゲストエディタ
- 2016/04 - 2017/03 日本機械学会2016年度(第94期)校閲委員 校閲委員
- 2016/04 - 2017/03 日本機械学会2016年度(第94期)校閲委員 校閲委員
- 2016/02 - 2017/03 International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2017 International Program Committee
- 2016/06 - 2017/01 第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会 委員
- 2016/06 - 2017/01 第33回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文委員会 委員
- 2016/07 - 2016/12 電気学会フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 幹事
- 2016/07 - 2016/12 電気学会フィジカルセンサ/マイクロマシン・センサシステム合同研究会 幹事
- 2016/02 - 2016/10 SPIE/COS Photonics Asia 2016 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology IV (PA105)- Program Committee
- 2016/02 - 2016/10 SPIE/COS Photonics Asia 2016 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology IV (PA105)- Program Committee
- 2015/12 - 2016/09 平成28年度E部門総合研究会実行委員会 幹事
- 2015/12 - 2016/09 平成28年度E部門総合研究会論文委員会 論文委員長
- 2015/12 - 2016/09 平成28年度E部門総合研究会実行委員会 幹事
- 2015/12 - 2016/09 平成28年度E部門総合研究会論文委員会 論文委員長
- 2015/06 - 2016/07 The 1st A3 Metamaterials Forum Organizing Committee
- 2015/09 - 2016/06 電気学会平成28年全国大会グループ委員会 11グループ幹事
- 2015/09 - 2016/06 電気学会平成28年全国大会論文委員会 委員
- 2015/09 - 2016/06 電気学会平成28年全国大会グループ委員会 11グループ幹事
- 2015/09 - 2016/06 電気学会平成28年全国大会論文委員会 委員
- 2015/04 - 2016/04 The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) Technical Program Committee
- 2015/04 - 2016/04 The 11th IEEE Annual International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (NEMS) Technical Program Committee
- 2013/12 - 2016/04 電気学会 メタマテリアル・プラズモニクスの光・電子デバイス応用調査専門委員会 委員長
- 2013/12 - 2016/04 電気学会 メタマテリアル・プラズモニクスの光・電子デバイス応用調査専門委員会 委員長
- 2015/04 - 2016/03 日本機械学会2015年度(第93期)校閲委員 校閲委員
- 2015/04 - 2016/03 日本機械学会2015年度(第93期)校閲委員 校閲委員
- 2014/02 - 2016/03 文部科学省 科学技術・学術政策研究所科学技術動向研究センター平成26年度専門調査員 専門調査員
- 2014/02 - 2016/03 文部科学省 科学技術・学術政策研究所科学技術動向研究センター平成26年度専門調査員 専門調査員
- 2013/04 - 2016/03 日本機械学会 情報・知能・精密機器部門代議員
- 2015/03 - 2016/02 International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2016 International Program Committee
- 2015/03 - 2016/02 International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2016 International Program Committee
- 2014/12 - 2015/11 The International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale 2015 (3M-NANO 2015) Program Committee
- 2014/12 - 2015/11 The International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale 2015 (3M-NANO 2015) Program Committee
- 2015/11 - 電気学会論文誌E Vol. 135(2015) No. 11 「メタマテリアル・プラズモニクス」特集 ゲストエディタ
- 2015/11 - 電気学会論文誌E Vol. 135(2015) No. 11 「メタマテリアル・プラズモニクス」特集 ゲストエディタ
- 2014/10 - 2015/09 平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会 副幹事
- 2014/10 - 2015/09 平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会 論文委員
- 2014/10 - 2015/09 平成27年度電気学会E部門総合研究会 マイクロマシン・センサシステム研究会 幹事
- 2014/10 - 2015/09 平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会 副幹事
- 2014/10 - 2015/09 平成27年度電気学会E部門総合研究会実行委員会 論文委員
- 2014/10 - 2015/09 平成27年度電気学会E部門総合研究会 マイクロマシン・センサシステム研究会 幹事
- 2014/09 - 2015/06 電気学会平成27年全国大会グループ委員会 11グループ委員
- 2014/09 - 2015/06 電気学会平成27年全国大会グループ委員会 11グループ委員
- 2014/04 - 2015/03 International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2015 International Program Committee
- 2014/04 - 2015/03 日本機械学会2014年度(第92期)校閲委員 校閲委員
- 2014/04 - 2015/03 International Conference on Photonics, Optics and Laser Technology - PHOTOPTICS 2015 International Program Committee
- 2014/04 - 2015/03 日本機械学会2014年度(第92期)校閲委員 校閲委員
- 2014/02 - 2014/10 SPIE/COS Photonics Asia 2014 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology III (PA108)- Program Committee
- 2014/02 - 2014/10 SPIE/COS Photonics Asia 2014 -Optoelectronic Imaging and Multimedia Technology III (PA108)- Program Committee
- 2013/09 - 2014/10 The 4th International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO) Program Committee
- 2013/09 - 2014/10 The 4th International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO) Program Committee
- 2013/11 - 2014/05 平成26年度電気学会E部門(センサ・マイクロマシン部門)総合研究会 マイクロマシン・センサシステム研究会 幹事
- 2013/11 - 2014/05 平成26年度電気学会E部門(センサ・マイクロマシン部門)総合研究会 マイクロマシン・センサシステム研究会 実行委員
- 2013/10 - 2014/03 電気学会 平成26年進歩賞小委員会 委員
- 2013/04 - 2014/03 電気学会E部門マイクロマシン・センサシステム技術委員会 幹事
- 2013/08 - 2013/11 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム 会場委員
- 2013/05 - 2013/09 平成25年度電気学会E部門総合研究会実行委員会 委員
- 2013/05 - 2013/09 平成25年度電気学会E部門総合研究会実行委員会 委員
- 2013/08 - 2013/08 IEEE Optical MEMS and Nanophotonics 2013 2013 Nanophotonics Program Committee
- 2013/08 - 2013/08 IEEE Optical MEMS and Nanophotonics 2013 International Steering Committee
- 2012/09 - 2013/08 The Third International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO) Program Committee
- 2012/09 - 2013/08 The Third International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO) Program Committee
- 2012/09 - 2013/08 The 4th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS (JCK MEMS/NEMS 2013) Local Organizing Committee
- 2012/01 - 2012/09 平成24年度E部門総合研究会実行委員会 委員
- 2012/01 - 2012/09 平成24年度E部門総合研究会実行委員会 委員
- 2011/10 - 2012/09 The Second International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO) Program Committee
- 2011/10 - 2012/09 The Second International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale (3M-NANO) Program Committee
- 2011/10 - 2012/08 IEEE 17th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2012 Nanophotonics Program Committee
- 2011/10 - 2012/08 IEEE 17th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics International Steering Committee
- 2011/04 - 2011/08 IEEE 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2011 Nanophotonics Program Committee
- 2011/04 - 2011/08 IEEE 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics 2011 Optical MEMS Program Committee
- 2011/04 - 2011/08 16th International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics International Steering Committee
- 2010/11 - 2011/07 平成23年度電気学会E部門(センサ・マイクロマシン部門)総合研究会 実行委員
- 2010/04 - 2010/12 23rd International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2010)) 論文委員
- 2010/01 - 2010/08 IEEE 2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics International Steering Committee
- 2010/01 - 2010/08 IEEE 2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics Program Committee
- 2010/01 - 2010/08 IEEE 2010 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics Program Chair, Nanophotonics
- 2009/07 - 2010/03 日本機械学会東北支部第45期総会・講演会 実行委員
- 2008/04 - 2010/03 日本機械学会 機械力学・計測制御部門委員
- 2008/04 - 2010/03 日本機械学会 機械力学・計測制御部門委員
- 2008/09 - 2008/09 2008年度精密工学会秋季大会 実行委員
- 2007/09 - 2008/06 第57回理論応用力学講演会 第57回理論応用力学講演会運営委員
- 2007/09 - 2008/06 第57回理論応用力学講演会 第57回理論応用力学講演会運営委員
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Awards (13):
- 2022/11 - 電気学会センサ・マイクロマシン部門 速報ポスター賞 ワイヤグリッド偏光子付き光ファイババンドルを用いた拡散反射計測による歯質判別
- 2018/11 - 電気学会センサ・マイクロマシン部門 第35回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム 優秀ポスター発表賞 High sensitivity bio/chemical sensors using polarization independent metamaterial
- 2018/04 - 公益財団法人 市村清新技術財団 第50回市村学術賞貢献賞 サブ波長光学に基づく人工光学物質の創製と高効率光フィルタ応用
- 2017/06 - 平成29年度E部門総合研究会 平成29年度電気学会E部門総合研究会企画フォトコンテスト「あなたのつくった立体構造」最優秀賞 最優秀賞
- 2015/02 - 公益財団法人コニカミノルタ科学技術振興財団 平成26年度コニカミノルタ画像科学奨励賞 量子干渉型高Q値メタマテリアルとMEMSの融合による動的光波制御
- 2009/06 - 電気学会センサ・マイクロマシン部門 第26回センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム優秀論文賞 近赤外光用サブ波長反射防止構造の光学設計および自己組織化微粒子を用いた製作
- 2008/06 - 財団法人 船井情報科学振興財団 平成19年度 船井情報科学奨励賞 情報技術に関する研究について顕著な功績をあげた。
- 2006/06 - 団法人 みやぎ産業科学振興基金 財団法人 みやぎ産業科学振興基金 第7回研究奨励賞 サブ波長格子による反射防止構造の製作と光MEMSデバイスへの応用
- 2005/10/14 - China Solar Energy Society 15th International Photovoltaic Science and Engineering Conference (PVSEC-15) Paper Awards Anti-Reflective subwavelength structures for crystalline-Si solar cells fabricated by porous alumina mask and fast atom beam etching
- 2003/10/29 - The Japan Society of Applied Physics 2002 International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC 2002) Outstanding Paper Fabrication of high accuracy micro-translation-table for near-field optical data storage actuated by inverted-scratch-drive-actuators
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Association Membership(s) (5):
IEEE
, 精密工学会
, The Institute of Electrical Engineers of Japan
, The Japan Society of Applied Physics
, The Japan Society of Mechanical Engineering
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