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J-GLOBAL ID：200901050693774786   Update date: Jan. 17, 2024

Morinaga Hitoshi

モリナガ ヒトシ | Morinaga Hitoshi
Affiliation and department：
株式会社フジミインコーポレーテッド 技術本部

About 株式会社フジミインコーポレーテッド 技術本部


Job title： 本部長
Research field  (11)： Material fabrication and microstructure control ,  Electric/electronic material engineering ,  Thin-film surfaces and interfaces ,  Electronic devices and equipment ,  Inorganic and coordination chemistry ,  Basic physical chemistry ,  Nano/micro-systems ,  Nanobioscience ,  Nanomaterials ,  Nanostructure physics ,  Nanostructure chemistry
Research keywords  (10)： 平坦化 ,  CMP ,  表面電気化学 ,  エッチング ,  シリコン ,  クリーン化 ,  洗浄 ,  研磨 ,  ウェットプロセス ,  半導体
Research theme for competitive and other funds  (7)：
  • 2006 - 電子デバイス用CMPスラリーの高性能化に関する研究
  • 2006 - 超精密研磨機構の解明に関する研究
  • 2005 - 半導体表面の原子オーダー平坦化技術に関する研究
  • 2005 - 液中におけるシリコン表面化学反応のメカニズムに関する研究
  • 2004 - 半導体ウェット洗浄プロセスの高性能化に関する研究
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MISC (63)：
ｍore...
Books (9)：
  • Scientific Wet Process Technology for Innovative LSI/FPD Manufacturing
    Taylor and Francis / CRC Press 2006
  • Scientific Wet Process Technology for Innovative LSI/FPD Manufacturing
    Taylor and Francis / CRC Press 2006
  • CMP技術体系
    2005
  • ’05 最新半導体プロセス技術
    (株)プレスジャーナル 2004
  • 最新の超精密加工・成形技術と部品化プロセス技術
    (株)技術情報協会 2001
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Education (4)：
  • - 1995 Tohoku University
  • - 1995 Tohoku University Graduate School, Division of Engineering
  • - 1986 Tokyo University of Science Faculty of Science and Technology
  • - 1986 Tokyo University of Science Faculty of Science and Engineering
Professional career (1)：
  • Ph.D (Tohoku University)
Work history (5)：
  • 2005 - 2007 Tohoku University New Industry Creation Hatchery Center
  • 2007 - - (株)フジミインコーポレーテッド 技術本部
  • 1994 - 2004 三菱化学株式会社
  • 1992 - 1994 東北大学 工学部 電子工学科(出向)
  • 1986 - 1992 三菱化成(現・三菱化学)株式会社
Committee career (1)：
  • 2005 - 精密工学会「プラナリゼーションCMP委員会」 幹事
Association Membership(s) (4)：
精密工学会「プラナリゼーションCMP委員会」 ,  精密工学会 プラナリゼーションCMP委員会委員 ,  Electrochemical Society ,  応用物理学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

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