Rchr
J-GLOBAL ID:200901061261731948
Update date: Oct. 31, 2024
Shiratani Masaharu
シラタニ マサハル | Shiratani Masaharu
Affiliation and department:
Job title:
Professor
Homepage URL (1):
http://hyoka.ofc.kyushu-u.ac.jp/search/details/K000264/index.html
Research field (5):
Electric/electronic material engineering
, Applied physics - general
, Thin-film surfaces and interfaces
, Basic plasma science
, Applied plasma science
Research keywords (7):
微粒子
, プラズマ理工学
, 表面界面物性
, 電子・電気材料工学
, plasma CVD
, dusty plasma
, plasma process
Research theme for competitive and other funds (74):
- 2022 - 2027 Plasma-modified peptides/proteins for multi-target anticancer treatment
- 2021 - 2025 励起子トランジスタの創成と励起子輸送の学理探求:情報担体へ進化する励起子
- 2019 - 2024 Development of "super-bio-functions" by plasma-activated biological substances
- 2020 - 2023 Mechanism elucidation of spatio-temporal structure formation of sheath fluctuation using optically trapped fine particles in plasmas
- 2018 - 2021 Fabrication of novel excitonic devices using flux-controlled sputter epitaxy and study of exciton transport in the devices
- 2019 - 2020 ナノ構造デラフォス陰極と両面受光型光電デバイスの結合型無バイアス太陽燃料高効率化
- 2018 - 2020 植物成長促進による植物工場の生産性向上を実現する照射環境制御型プラズマ援用種子処理装置開発
- 2014 - 2018 Precise control of nanoparticle deposition using plasma
- 2016 - 2017 Anisotropic plasma CVD using pressure-controlled micro plasmas
- 2015 - 2016 プラズマ・触媒ナノ粒子複合反応場によるCO2資源化技術の開発
- 2014 - 2015 Novel nanoparticle detection method using compact drift tube
- 2009 - 2014 Creation of Science of Plasma Nano-Interface Interactions
- 2013 - 2014 高光安定a-Si太陽電池製作のためのガス流動・ナノ粒子制御技術に関する共同研究
- 2014 - 2014 プラズマとナノ界面の相互作用に関する学術統合研究
- 2013 - 2014 高度秩序構造を有する薄膜多接合太陽電池の研究開発ー新概念新材料の検討ー(継続)
- 2010 - 2014 ナノ粒子制御によるアモルファスシリコンセルの高光安定化に関する研究
- 2008 - 2014 高度秩序構造を有する薄膜多接合太陽電池の研究開発ー新概念新材料の検討ー
- 2012 - 2013 高光安定a-Si太陽電池製作のためのガス流動・ナノ粒子制御技術に関する共同研究
- 2009 - 2013 Bond Engineering at Nano-Interfaces using Nanoparticle Plasmas
- 2009 - 2013 プラズマとナノ界面の相互作用に関する総括研究
- 2012 - 2012 リチウムイオン電池用Si系ナノ粒子含有ポーラス負極に関する研究開発
- 2010 - 2011 Growth promotion by cell-cycle synchronized pulse plasmas
- 2007 - 2011 プラズマナノ科学創成によるプロセスナビゲーション構築とソフト材料加工
- 2007 - 2010 トップセルの光劣化の基礎現象解明
- 2010 - 2010 微粒子プラズマのフロンティア
- 2010 - 2010 LHD第一壁へのダストフラックスに対する壁電位の効果
- 2008 - 2010 Frontier science and technology of nanoblock transport and arrangement
- 2006 - 2009 シランプラズマ中のクラスタ量の制御法の開発
- 2009 - 2009 LHD内壁へのダスト付着量の壁電位依存性に関する研究
- 2007 - 2009 微粒子プラズマによる臨界現象
- 2007 - 2009 インジウム新素材によるインジウム肺症の実験的研究
- 2008 - 2008 LHDダストとモデル実験装置ダストの比較
- 2007 - 2008 Measurement of spatial distribution of cluster size and density in arc production of carbon clusters
- 2007 - 2007 CIGSの経気道性曝露による生体影響に関する研究
- 2006 - 2007 プラズマを用いたナノカプセルの創製と物質内包技術の開発
- 2006 - 2007 LHDにおけるダストのその場サンプリングと分析
- 2007 - 電子デバイス工学研究資金
- 2004 - 2006 Plasma anisotropic CVD as a novel method for constructing nano-structures
- 2004 - 2005 多孔質低誘電率絶縁膜に関する研究
- 2004 - 2005 集積回路内配線形成に関する研究
- 2004 - 2005 ナノ結晶シリコントップセル化技術開発
- 2003 - 2004 微重力反応性プラズマ中の微粒子成長
- 2002 - 2004 超高効率太陽電池作製のためのクラスタ反応制御プラズマCVD
- 2002 - 2003 Plasma Anisotropic CVD for Cu Interconnects in LSI
- 2003 - 2段プラズマCVD法による超低誘電率層間絶縁膜に関する研究
- 2000 - 2002 プラズマCVD装置中のクラスタの成長と抑制
- 1999 - 2000 シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究
- 1997 - 1999 反応性プラズマ中の微粒子成長機構に関する研究
- 1996 - 1997 気相中微粒子の粒径・密度・屈折率の超高感度レーザ偏光散乱その場計測法の開発
- 1995 - 1996 Study on effect of discharge frequency on particle growth in high frequency plasma.
- 1995 - 1995 プラズマCVD法による銅薄膜の選択形成に関する研究
- 1995 - プラズマCVD法を用いた集積回路内銅配線形成
- 1994 - 1994 シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究
- 1994 - 1994 プラズマCVDによる銅薄膜形成に関する研究
- 1992 - 1992 微粒子プラズマに関する実験的研究
- 1991 - 1992 OBSERVATION OF GROWING KINETICS OF SILICON PARTICULATES IN SILNAE PLASMAS
- 1990 - 1990 高周波電圧矩形波変調法によるシランプラズマの反応制御
- 1989 - 1989 パルス放電希ガス希釈プロセシングプラズマの反応促進機構の解明と応用に関する研究
- 1989 - 1989 シランプラズマ中における微粒子発生機構に関する研究
- 1988 - 1988 パルス放電希ガス希釈プロセシングプラズマの反応促進機構の解明と応用に関する研究
- 1987 - 1988 STUDY ON ARC DISCHARGE PHENOMENA IN BOUNDARY LAYER OF MHD CHANNEL ELECTRODE USING LASER TECHNIQUE
- クラスター作製技術の研究
- プラズマCVDに関する研究
- 超高効率薄膜太陽電池の開発
- 表面反応に関する研究
- 微粒子に関する研究
- 反応性プラズマに関する研究
- Cu interconnection in ULSI using plasma CVD method
- Study on production method of clusters
- Study on plasma CVD
- Development of a-Si solar cell of super high conversion efficiency
- Study on surface reaxtions
- Study on fine particles
- Study on reactive plasmas
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Papers (248):
-
Shoko Tsuboyama, Takamasa Okumura, Kenshiro Watanabe, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Kazuyuki Kuchitsu. Real-time live imaging of cytosolic hydrogen peroxide and Ca2+ of Marchantia polymorpha gemmalings reveal immediate initial responses of plant cells triggered by nonthermal plasma irradiation. Plant Physiology and Biochemistry. 2024. 216. 109172-109172
-
Sukma Wahyu Fitriani, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Pankaj Attri. Capture and Conversion of CO2 from Ambient Air Using Ionic Liquid-Plasma Combination. Plasma Chemistry and Plasma Processing. 2024
-
Marlis N. Agusutrisno, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Naoto Yamashita. Effect of nanoscale inhomogeneity on blocking temperature of ZnO:Co films fabricated by using nitrogen-mediated crystallization. MRS Advances. 2024
-
Marlis N. Agusutrisno, Sora Obinata, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Naoto Yamashita. Large-scale fabrication of thulium iron garnet film with perpendicular magnetic anisotropy using RF magnetron sputtering. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 7. 07SP06-07SP06
-
Yoshiharu Wada, Wafaa Magdy, Keigo Takeda, Yuta Mido, Naoto Yamashita, Takamasa Okumura, Kunihiro Kamataki, Kazunori Koga, Masaru Hori, Masaharu Shiratani, et al. Sputtering deposition of dense and low-resistive amorphous In2O3: Sn films under ZONE-T conditions of Thornton's structural diagram. Applied Physics Letters. 2024. 124. 24
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MISC (331):
-
都甲将, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一. Control of selectivity in hydrogenation of CO2 using plasma. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2023. 84th
-
Pankaj Attri, Takamasa Okumura, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani, Douyan Wang, Katsuyuki Takahashi, Koichi Takaki. Outcomes of Pulsed Electric Fields and Nonthermal Plasma Treatments on Seed Germination and Protein Functions. Agronomy. 2022. 12. 2
-
都甲将, 出口雅志, 長谷川大樹, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一. The role of vibrationally and rotationally excited CO molecule in CO2 methanation with plasma catalysis. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2022. 69th
-
都甲将, 長谷川大樹, 奥村賢直, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一. Zero-dimensional simulation for CO2 methanation with plasma catalysis. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2022. 83rd
-
都甲将, 出口雅志, 長谷川大樹, 鎌滝晋礼, 竹中弘祐, 古閑一憲, 白谷正治, 節原裕一. Effects of catalysts on energy cost for CO2 recycling in plasma catalysis. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2021. 82nd
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Patents (4):
-
アモルファスシリコン薄膜の成膜方法
-
吸引式微粒子測定方法
-
微粒子測定方法及び微粒子測定装置
-
微粒子測定方法及び微粒子測定装置
Books (33):
-
Cellulose: A Smart Material for Water Purification (Smart Materials for Waste Water Applications)
Scrivener Publishing 2016
-
プラズマ異方性化学気相堆積法による硬質カーボン薄膜の低温製膜 (特集 革新的プラズマ科学の新潮流)
化学工業 2012
-
ダブルマルチホロー放電プラズマCVDによる窒化シリコンナノ粒子の生成と量子ドット増感型太陽電池への応用 (高効率太陽電池 化合物・集光型・量子ドット型・Si・有機系・その他新材料)
株式会社エヌ・ティー・エス 2012
-
プロセスプラズマ中の微粒子の凝集と輸送 (「プラズマと微粒子」研究の諸分野における進展)
プラズマ・核融合学会誌 2011
-
研究開発の効率を飛躍的に高めるコンビナトリアルプラズマ解析装置 (特集 プラズマ技術の新しい挑戦)
化学工業 2010
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Lectures and oral presentations (1,782):
-
High Throughput Deposition of Hydrogenated Amorphous Carbon Films using High-Pressure Ar+CH4 Plasmas
(ICMCTF2021 2021)
-
Sputtering Growth of Metal Oxynitride Semiconductors for Excitonic Devices(Invited)
(EDTM2021 2021)
-
Arプラズマ中の光捕捉微粒子への作用力の研究
(第68回応用物理学会春季学術講演会 2021)
-
かいわれ大根種子の発芽と発芽の成長に対する大気圧プラズマ照射の影響-種子の色と貯蔵の効果
(第68回応用物理学会春季学術講演会 2021)
-
プラズマを用いてカーボンナノ粒子層を含むミルフィーユ型 a-C:H 膜の機械的特性
(第68回応用物理学会春季学術講演会 2021)
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Works (11):
-
LSI用低誘電率層間絶縁膜の作製技術の開発
2002 -
-
プラズマCVD装置中のクラスタの成長と抑制
1999 - 2001
-
Studies on Growth Kinetics of Clusters in Plasma CVD Reactors and their Suppression
1999 - 2001
-
水素プラズマ壁相互作用によるカーボンダストの発生機構の研究
2001 -
-
ナノ構造制御シリコン太陽電池の開発
2001 -
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Education (4):
- - 1988 Kyushu University
- - 1988 Kyushu University Graduate School, Division of Engineering
- - 1983 Kyushu University School of Engineering
- - 1983 Kyushu University Faculty of Engineering
Professional career (2):
- (BLANK) (Kyushu University)
- (BLANK) (Kyushu University)
Work history (6):
- 1990 - 2006 Kyushu University
- 1990 - 2006 Kyushu University, Associate Professor
- 2006 - - 九州大学 教授
- 2006 - - Kyushu University, Professor
- 1988 - 1990 Kyushu University
- 1988 - 1990 Kyushu University, Research Associate
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Committee career (119):
- 2015/08 - 2022/07 International Scientific Committee of ICPIG 委員会委員
- 2011/04 - 2022/03 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会諮問委員
- 2019/07 - 2021/06 International Conference on Phenomena in Ionized Gases International Organizing Committee Chair
- 2019/06 - 2021/05 日本MRS 副会長
- 2017/04 - 2021/03 Association of Asia Pacific Physical Societies, Division of Plasma Physics Vice-chairman
- 2017/06 - 2019/06 日本MRS 理事
- 2016/06 - 2018/06 プラズマ・核融合学会 副会長
- 2013/01 - 2018/05 Plasma Physics under Asia Pacific Physical Societies The Vice Chair of Division
- 2017/04 - 2018/03 日本表面科学会 九州支部 平成29年度支部監査
- 2016/04 - 2018/03 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会 諮問委員
- 2016/04 - 2018/03 プラズマ・核融合学会 九州・山口支部監事
- 2016/04 - 2018/03 Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering Asian Joint Committee Vice Chair
- 2016/04 - 2018/03 日本MRS セッションオーガナイザー
- 2016/04 - 2018/03 IUMRS-ICA セッションオーガナイザー
- 2016/04 - 2018/03 応用物理学会 九州支部貢献賞選考委員長
- 2016/04 - 2018/03 日本MRS 講演奨励賞選考委員長
- 2016/04 - 2018/03 応用物理学会 九州支部監事
- 2016/04 - 2018/03 プラズマ材料科学 賞選考委員長
- 2015/12 - 2018/03 九州大学 改組WG委員
- 2015/04 - 2018/03 九州大学 人事計画委員会委員
- 2015/04 - 2018/03 九州大学 システムLSI研究センター委員
- 2014/04 - 2018/03 九州大学 高度ICT人材教育開発センター委員会委員
- 2014/04 - 2018/03 九州・山口プラズマ研究会 代表
- 2012/04 - 2018/03 日本学術振興会第153委員会 副委員長・学界委員・運営委員
- 2011/05 - 2018/03 九州大学 九州大学マス・フォア・インダストリ研究所サイエンス・アドバイザリー
- 2010/10 - 2018/03 九州大学 プラズマナノ界面工学センター長
- 2009/04 - 2018/03 九州大学 国際化推進戦略ワーキンググループ委員
- 2008/04 - 2018/03 九州大学 衛生部会委員
- 2008/04 - 2018/03 微粒子プラズマ研究会 幹事
- 2016/12 - 2017/11 日本学術振興会 科学研究費専門委員
- 2012/10 - 2017/09 九州大学 電気エネルギー教育研究センター委員
- 2016/04 - 2017/03 応用物理学会 業績賞選考委員
- 2014/06 - 2017/03 応用物理学会 九州支部貢献賞委員会委員長
- 2015/05 - 2016/06 ISO/TC107 WG member
- 2014/03 - 2016/06 Association of Asia Pacific Physical Societies-division of plasma physics(AAPPS-DPP) Vice Chair
- 2012/06 - 2016/06 プラズマ・核融合学会 理事
- 2012/06 - 2016/06 プラズマ・核融合学会 九州支部長
- 2013/12 - 2016/05 オーストラリア 科学研究費評価委員
- 2014/04 - 2016/03 応用物理学会 理事
- 2014/04 - 2016/03 応用物理学会 九州支部長
- 2007/04 - 2016/03 科学技術動向研究センター 専門調査委員
- 2006/04 - 2016/03 核融合科学研究所 共同研究員
- 2005/04 - 2016/03 大阪大学接合科学研究所 共同研究員
- 2015/06 - 2015/11 大阪大学接合科学研究所 外部評価委員
- 2015/06 - 2015/07 熊本大学外部評価委員会 情報電気電子工学専攻テニュア外部評価委員
- 2012/05 - 2015/05 American Physical Society, Division of Plasma Physics, Program Committee 委員
- 2014/06 - 2015/03 応用物理学会 九州支部貢献賞委員会委員長
- 2012/04 - 2015/03 九州大学 将来計画委員会委員
- 2012/04 - 2015/03 日本学術振興会第153委員会 学界委員
- 2012/04 - 2015/03 西日本放電懇談会 会長
- 2011/04 - 2015/03 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会諮問委員
- 2013/12 - 2014/05 Netherlands Organisation for Scientific Research (NWO) オランダ科学研究費評価委員
- 2013/01 - 2014/05 Plasma Physics under Asia Pacific Physical Societies The Vice Chair of Division
- 2012/04 - 2014/03 九州大学 大学活性化WG
- 2012/04 - 2014/03 応用物理学会 九州支部副支部長
- 2011/05 - 2014/03 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 諮問委員
- 2010/04 - 2014/03 応用物理学会 評議員
- 2011/10 - 2013/10 American Physical Society Gaseous Electronics Conference Executive Committee
- 2011/05 - 2013/03 マス・フォア・インダストリ研究所 サイエンス・アドバイザリー
- 2011/04 - 2013/03 九州大学 組織的若手海外派遣WG委員
- 2011/04 - 2013/03 応用物理学会 論文賞委員会委員
- 2012/05 - 2012/11 Gaseous Electronics Conference Executive Committee 委員
- 2011/12 - 2012/11 文部科学省 科学研究費補助金審査委員
- 2011/06 - 2012/05 National Research Foundation Grant Proposal Singaporeの研究費審査委員
- 2011/04 - 2012/03 九州大学 システム情報科学研究院改革スキーム構築WG委員
- 2011/04 - 2012/03 九州大学 技術職員配置検討WG委員
- 2011/03 - 2012/03 九州大学 国際化100人委員会
- 2010/12 - 2012/03 Australian Research Council Assessor(オーストラリア学術会議評価者) 評価者
- 2010/04 - 2012/03 九州大学 人事計画委員会委員
- 2010/03 - 2012/03 九州大学 改革スキーム構築WG
- 2009/04 - 2012/03 九州大学 システム情報科学研究院人事計画委員会委員
- 2008/04 - 2012/03 プラズマ核融合学会 九州支部理事
- 2008/01 - 2012/03 QS World University Rankings 2011 評価者
- 2006/04 - 2012/03 物質・材料研究機構物質研究所 リサーチアドバイザー
- 2005/04 - 2012/03 応用物理学会 リフレッシュ理科教室実行委員
- 2004/07 - 2012/03 プラズマ・核融合学会 広報委員
- 2004/04 - 2012/03 応用物理学会 幹事
- 2001/12 - 2012/03 微粒子プラズマ研究会 世話役
- 2001/01 - 2012/03 応用物理学会 講演会世話人
- 1998/04 - 2012/03 微粒子プラズマ研究会 幹事
- 1998/04 - 2012/03 フロンティアプロセス研究会 幹事
- 2011/06 - 2011/11 大阪大学接合科学研究所 外部評価委員
- 2011/03 - 2011/11 Plasma Conference 2011 (略称: PLASMA2011)/プラズマ・核融合学会第28回年会/応用物理学会第29回プラズマプロセシング研究会/日本物理学会(領域2)2011年秋季大会 組織委員, プログラム委員長
- 2009/10 - 2011/11 AVS Plasma Science and Technology Division Executive Committee
- 2009/05 - 2011/11 American Vacuum Society PSTD Executive Committee
- 2009/12 - 2011/03 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス賞審査委員
- 2009/01 - 2011/03 プラズマ関連学協会連合組織 運営委員
- 2008/04 - 2011/03 応用物理学会 九州支部理事
- 2007/05 - 2011/03 九州大学 産業技術数理研究センター教授(複担)
- 2009/12 - 2010/11 Times Higher Education World University Rankings 評価者
- 2009/12 - 2010/11 文部科学省 科学研究費補助金審査委員
- 2008/04 - 2010/03 九州大学 新キャンパス計画専門委員会委員
- 2008/04 - 2010/03 九州大学 電気系工作工場担当教員、電気系工作工場WG委員
- 2008/04 - 2010/03 九州大学 伊都キャンパス全学共用スペース管理運営委員会委員
- 2007/04 - 2010/03 九州大学 工学部定員委員会委員
- 2008/03 - 2010/02 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会幹事長
- 2007/12 - 2009/11 核融合科学研究所 共同研究委員会委員
- 2008/12 - 2009/03 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス賞審査副委員長
- 2008/04 - 2009/03 九州大学 電子デバイス工学部門主任教授
- 2007/12 - 2008/11 太陽光発電技術研究組合(PVTEC) 薄膜シリコン先導研究技術分科会委員
- 2004/04 - 2008/03 九州大学 研究活動説明会委員
- 2005/04 - 2007/03 九州大学 COE経理委員会委員
- 2001/01 - 2006/03 ドライプロセス国際シンポジウム 論文委員
- 2003/04 - 2004/03 応用物理学会 代議員
- 2002/04 - 2004/03 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会副幹事長
- 2000/04 - 2002/03 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会幹事
- 2000/04 - 2002/03 応用物理学会 編集委員会委員
- 2000/01 - 2002/03 電気学会 編集専門第2部会委員
- 2000/01 - 2002/03 電気学会 編集専門第3部会委員
- 1999/01 - 2002/03 電気学会 活動推進委員
- 1999/01 - 2002/03 電気学会 九州支部総務幹事
- 1999/01 - 2001/03 電気学会 ホームページ運用委員会委員
- 1999 - 2000 電気学会 九州支部総務幹事,ホームページ運用委員会委員,電気学会会誌編集第3部会委員,電気学会会誌編集第2部会委員,電気学会活動推進委員
- 2000 - ドライプロセス国際シンポジウム 論文委員
- 1999/01 - 1999/12 応用物理学会 第17回プラズマプロセシング研究会現地実行委員
- 1993/04 - 1994/03 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会サマースクール企画担当幹事
- 1992/04 - 1994/03 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会幹事
- 1992 - 1993 応用物理学会 プラズマエレクトロニクス分科会幹事,応用物理編集委員,プラズマエレクトロニクス分科会幹事,講演会世話人,プラズマエレクトロニクス分科会副幹事長,代議員,プラズマエレクトロニクス分科会幹事長
- 1992/04 - 1992/12 応用物理学会 第9回プラズマプロセシング研究会現地実行委員
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Awards (24):
- 2021/03 - 応用物理学会シリコンテクノロジー分科会 第12回 シリコンテクノロジー分科会論文賞
- 2018/12 - 応用物理学会九州支部 応用物理学会支部貢献賞
- 2016/03 - 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 第14回プラズマエレクトロニクス賞
- 2015/12 - 日本学術振興会プラズマ材料科学第153委員会 第17回プラズマ材料科学賞基礎部門賞
- 2014/07 - International Conference of Microelectronics ans Plasma Technology 2014 (ICMAP2014) ICMAP2014 Best Poster Presentation Award
- 2013/09 - 応用物理学会 第7回(2013年度)フェロー表彰
- 2013/08 - The 9th Asian-European International Conference on Plasma Surface Engineering The 9th Asian-European International Conference of Plasma Surface Engineering(AEPSE2013)/ Outstanding Poster Award
- 2012/11 - 九州大学 平成24年度九州大学研究活動表彰
- 2012/10 - 11th Asia Pacific Conference on Plasma Science adn Technology (APCPST) & 25th Symposium on Plasma Science for Materials (SPSM) Advanced Plasma Application Award
- 2012/03 - ISPlasma2012 ISPlasma2012 "Best Presentation Award"
- 2011/03 - 社団法人高温学会 平成23年度高温学会論文賞
- 2010/05 - 九州大学 平成22年九州大学研究活動表彰
- 2010/04 - 応用物理学会 応用物理学会第8回APEX/JJAP編集貢献賞
- 2009/05 - 九州大学 平成21年九州大学産学連携活動表彰
- 2008/06 - Interfinish 2008 World Congress and Exposition Invited Presentation Award at Interfinish 2008
- 2005/03 - 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 応用物理学会第3回プラズマエレクトロニクス賞
- 2004/03 - 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 応用物理学会第2回プラズマエレクトロニクス賞
- 1998 - 日本学術振興会プラズマ材料科学賞
- 1998/01 - 日本学術振興会 日本学術振興会第1回プラズマ材料科学賞
- 1996/03 - 電気学会 平成7年度電気学会論文発表賞A
- 1996 - 電気学会優秀論文発表賞
- 1992/04 - 電気学会 平成3年度電気学会論文発表賞B
- 1991 - 電気学会優秀論文発表賞
- 1983/03 - 九州大学 九州大学工学部電気工学教室宮崎賞
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Association Membership(s) (11):
日本MRS
, Materials Research Society
, ドライプロセス国際シンポジウム
, 学外
, 材料学会(Materials Research Society)
, 学外
, 物理学会
, 学外
, 学外
, Materials Reserach Society
, American Vacuum Society
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