Rchr
J-GLOBAL ID:200901077232960281
Update date: Mar. 08, 2024
Nakamura Norio
ナカムラ ノリオ | Nakamura Norio
Affiliation and department:
Research field (2):
Quantum beam science
, Theoretical studies related to particle-, nuclear-, cosmic ray and astro-physics
Research keywords (9):
accelerator-based advanced light source
, 次世代リソグラフィー用EUV-FEL光源
, industrial application of accelerator
, next-generation synchrotron light source
, energy-recovery linac
, free-electron laser
, 加速器
, 放射光
, ビーム物理
Research theme for competitive and other funds (21):
- 2015 - 2019 エネルギー回収型リニアック(ERL)におけるビームロスの研究
- 2012 - 2014 Research and development of a drive laser system for a photocathode gun of an energy-recovery-linac light source
- 2008 - 2013 超伝導加速による次世代小型高輝度光子ビーム源の開発
- 2009 - 2011 次世代放射光源のための要素技術開発と人材育成
- 2007 - 2009 最先端放射光加速器の開発研究と大学院教育
- 2007 - 2009 Development of experimental techniques for femto-second pulsed X-ray source
- 2006 - 2009 高精度ビーム位置モニタの開発
- 2007 - 2008 Study on the beam dynamics issues in the next-generation synchrotron light sources based on the energy-recovery linacs
- 2006 - 2007 X線SRモニタと高性能BPMによる軌道安定化への応用研究
- 2004 - 2006 電子蓄積リング用加速空洞における構造最適化
- 2004 - 2006 Development of a high-resolution beam profile monitor using zone plates
- 2001 - 2006 フレネルゾーンプレートを用いたビームサイズモニタの開発
- 1998 - 2001 蓄積リングの鉛直方向及び水平方向変位に関する研究
- 1999 - 2000 高輝度光源計画の電磁石に関する研究
- 1997 - 1999 アンジュレータビームラインのオンライン制御及び軌道フィードバックに関する開発研究
- 1999 - 高輝度光源用電子入射器に関する研究
- 1997 - 1998 高輝度光源計画のライナックに関する研究
- 1997 - 1998 高輝度光源の加速器の研究
- 1998 - ビームモニタに関する研究
- 1997 - ビーム軌道安定化に関する研究
- next-generation synchrotron light source, high-brilliance synchrotron light source, enregy recovery linac, advanced light source accelerator
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Papers (292):
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H. Sakai, K. Harada, N. Higashi, Y. Honda, Y. Kamiya, Y. Morikawa, N. Nakamura, H. Shimizu, O. Tanaka, K. Umemori, et al. Conceptual design of the high-power electron beam irradiator using niobium-tin superconducting cavity. Journal of Physics: Conference Series. 2024. 2687. 092013
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N. Higashi, C. Mitsuda, S. Nagahashi, K. Harada, T. Nogami, T. Uchiyama, N. Nakamura, T. Honda, M. Satoh, Y. Okayasu, et al. Modification of beam transport line design for simultaneous top-up injection to PF and PF-AR. Journal of Physics: Conference Series. 2024. 2687. 032006
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Norio Nakamura, Ryukou Kato, Hiroshi Sakai, Kimichika Tsuchiya, Yasunori Tanimoto, Yosuke Honda, Tsukasa Miyajima, Miho Shimada, Takanori Tanikawa, Olga A. Tanaka, et al. High-power EUV free-electron laser for future lithography. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SG0809
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N. Nakamura, H. Kawata, H. Sakai, K. Tsuchiya, M. Shimada, O. Tanaka, R. Kato, T. Tanikawa, T. Obina, T. Miyajima, et al. EUV-FEL light source for future lithography. Proceedings of IPAC23. 2023. 5149-5153
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C. Mitsuda, T. Honda, S. Nagahashi, D. Naito, T. Nogami, N. Nakamura, H. Sasaki, S. Sakanaka, H. Takaki, T. Uchiyama, et al. Construction and beam commissioning of the GeV-range test beamline at KEK PF-AR. Proceedings of IPAC23. 2023. 471-474
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MISC (36):
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曲 慧, 石松 完爾, 平戸 利明, 東 直, 高木 秀彰, 中村 典雄. 電子線照射したアスファルトのX線小角散乱法による評価結果. 土木学会全国大会第78回年次学術講演会(web). 2023
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石松莞爾, 中村典雄. アスファルトへの電子線照射利用. 改質アスファルト. 2023. 61. 4-11
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阪井寛志, 加藤龍好, 土屋公央, 谷本育律, 本田洋介, 宮島司, 島田美帆, 帯名崇, 高井良太, 中村典雄, et al. Development of mid-infrared FEL based on Compact ERL and first lasing of FEL. 日本加速器学会年会(Web). 2021. 18th
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河田 洋, 阪井 寛志, 加藤 龍好, 中村 典雄. 将来の EUV リソグラフィに向けた大強度 EUV-FEL の開発. X線結像光学ニューズレター. 2020. 51. 1-7
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松村 宏, 萩原 雅之, 三浦 太一, 濁川 和幸, 芳賀 開一, 長橋 進也, 帯名 崇, 中村 典雄, 加藤 龍好. ERL開発棟のコンパクトERL加速器室における照射ビームラインの新設に係わる放射線安全対策. KEK Internal Report 2019-1. 2019
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Books (10):
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先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術
技術情報協会 2023 ISBN:9784861049828
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Photon Sources for Lithography and Metrology
SPIE PRESS 2023 ISBN:9781510653719
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Handbook of Particle Accelerator
2018
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OHO'15 高エネルギー加速器セミナー「エネルギー回収型リニアックの加速器基盤技術と応用」
2015
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講習会「シンクロトロン放射光源の基礎と応用 --- 21世紀を照らす光 --- 」テキスト
1999
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Lectures and oral presentations (22):
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将来リソグラフィー用EUV-FEL光源
(第20回日本加速器学会年会 2023)
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将来リソグラフィーのためのEUV-FEL光源
(第29回FELとHigh-Power Radiation研究会 2023)
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Present state of the EUV-FEL light source for future lithography
(7th EUV-FEL Workshop 2023)
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High-power EUV free electron laser for future lithography
(MNC2022 (35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference) 2022)
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Recent Progress on EUV-FEL and its PoC using cERL
(2022 Source Workshop 2022)
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Work history (7):
- 2023/04 - 現在 High Energy Accelerator Research Organization Accelerator Laboratory
- 2021/04 - 2023/03 High Energy Accelerator Research Organization Accelerator Laboratory professor
- 2011 - 2021/03 The Graduate University for Advanced Studies School of High Energy Accelerator Science professor
- 2011 - 2021/03 High Energy Accelerator Research Organization
- 2007 - 2011 The University of Tokyo The Institute for Solid State Physics
- 1996 - 2007 The University of Tokyo The Institute for Solid State Physics
- 1987 - 1996 高エネルギー物理学研究所 放射光実験施設 助手
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Awards (1):
- 2015/02 - Foundation for High-Energy Accelerator Science Suwa Prize
Association Membership(s) (2):
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