Rchr
J-GLOBAL ID:200901077232960281   Update date: Mar. 08, 2024

Nakamura Norio

ナカムラ ノリオ | Nakamura Norio
Affiliation and department:
Research field  (2): Quantum beam science ,  Theoretical studies related to particle-, nuclear-, cosmic ray and astro-physics
Research keywords  (9): accelerator-based advanced light source ,  次世代リソグラフィー用EUV-FEL光源 ,  industrial application of accelerator ,  next-generation synchrotron light source ,  energy-recovery linac ,  free-electron laser ,  加速器 ,  放射光 ,  ビーム物理
Research theme for competitive and other funds  (21):
  • 2015 - 2019 エネルギー回収型リニアック(ERL)におけるビームロスの研究
  • 2012 - 2014 Research and development of a drive laser system for a photocathode gun of an energy-recovery-linac light source
  • 2008 - 2013 超伝導加速による次世代小型高輝度光子ビーム源の開発
  • 2009 - 2011 次世代放射光源のための要素技術開発と人材育成
  • 2007 - 2009 最先端放射光加速器の開発研究と大学院教育
Show all
Papers (292):
  • H. Sakai, K. Harada, N. Higashi, Y. Honda, Y. Kamiya, Y. Morikawa, N. Nakamura, H. Shimizu, O. Tanaka, K. Umemori, et al. Conceptual design of the high-power electron beam irradiator using niobium-tin superconducting cavity. Journal of Physics: Conference Series. 2024. 2687. 092013
  • N. Higashi, C. Mitsuda, S. Nagahashi, K. Harada, T. Nogami, T. Uchiyama, N. Nakamura, T. Honda, M. Satoh, Y. Okayasu, et al. Modification of beam transport line design for simultaneous top-up injection to PF and PF-AR. Journal of Physics: Conference Series. 2024. 2687. 032006
  • Norio Nakamura, Ryukou Kato, Hiroshi Sakai, Kimichika Tsuchiya, Yasunori Tanimoto, Yosuke Honda, Tsukasa Miyajima, Miho Shimada, Takanori Tanikawa, Olga A. Tanaka, et al. High-power EUV free-electron laser for future lithography. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SG0809
  • N. Nakamura, H. Kawata, H. Sakai, K. Tsuchiya, M. Shimada, O. Tanaka, R. Kato, T. Tanikawa, T. Obina, T. Miyajima, et al. EUV-FEL light source for future lithography. Proceedings of IPAC23. 2023. 5149-5153
  • C. Mitsuda, T. Honda, S. Nagahashi, D. Naito, T. Nogami, N. Nakamura, H. Sasaki, S. Sakanaka, H. Takaki, T. Uchiyama, et al. Construction and beam commissioning of the GeV-range test beamline at KEK PF-AR. Proceedings of IPAC23. 2023. 471-474
more...
MISC (36):
  • 曲 慧, 石松 完爾, 平戸 利明, 東 直, 高木 秀彰, 中村 典雄. 電子線照射したアスファルトのX線小角散乱法による評価結果. 土木学会全国大会第78回年次学術講演会(web). 2023
  • 石松莞爾, 中村典雄. アスファルトへの電子線照射利用. 改質アスファルト. 2023. 61. 4-11
  • 阪井寛志, 加藤龍好, 土屋公央, 谷本育律, 本田洋介, 宮島司, 島田美帆, 帯名崇, 高井良太, 中村典雄, et al. Development of mid-infrared FEL based on Compact ERL and first lasing of FEL. 日本加速器学会年会(Web). 2021. 18th
  • 河田 洋, 阪井 寛志, 加藤 龍好, 中村 典雄. 将来の EUV リソグラフィに向けた大強度 EUV-FEL の開発. X線結像光学ニューズレター. 2020. 51. 1-7
  • 松村 宏, 萩原 雅之, 三浦 太一, 濁川 和幸, 芳賀 開一, 長橋 進也, 帯名 崇, 中村 典雄, 加藤 龍好. ERL開発棟のコンパクトERL加速器室における照射ビームラインの新設に係わる放射線安全対策. KEK Internal Report 2019-1. 2019
more...
Books (10):
  • 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術
    技術情報協会 2023 ISBN:9784861049828
  • Photon Sources for Lithography and Metrology
    SPIE PRESS 2023 ISBN:9781510653719
  • Handbook of Particle Accelerator
    2018
  • OHO'15 高エネルギー加速器セミナー「エネルギー回収型リニアックの加速器基盤技術と応用」
    2015
  • 講習会「シンクロトロン放射光源の基礎と応用 --- 21世紀を照らす光 --- 」テキスト
    1999
more...
Lectures and oral presentations  (22):
  • 将来リソグラフィー用EUV-FEL光源
    (第20回日本加速器学会年会 2023)
  • 将来リソグラフィーのためのEUV-FEL光源
    (第29回FELとHigh-Power Radiation研究会 2023)
  • Present state of the EUV-FEL light source for future lithography
    (7th EUV-FEL Workshop 2023)
  • High-power EUV free electron laser for future lithography
    (MNC2022 (35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference) 2022)
  • Recent Progress on EUV-FEL and its PoC using cERL
    (2022 Source Workshop 2022)
more...
Work history (7):
  • 2023/04 - 現在 High Energy Accelerator Research Organization Accelerator Laboratory
  • 2021/04 - 2023/03 High Energy Accelerator Research Organization Accelerator Laboratory professor
  • 2011 - 2021/03 The Graduate University for Advanced Studies School of High Energy Accelerator Science professor
  • 2011 - 2021/03 High Energy Accelerator Research Organization
  • 2007 - 2011 The University of Tokyo The Institute for Solid State Physics
Show all
Awards (1):
  • 2015/02 - Foundation for High-Energy Accelerator Science Suwa Prize
Association Membership(s) (2):
日本加速器学会 ,  日本放射光学会
※ Researcher’s information displayed in J-GLOBAL is based on the information registered in researchmap. For details, see here.

Return to Previous Page