Art

J-GLOBAL ID：200902000037911765   Reference number：89A0444587

A batch-fabricated non-reverse valve with cantilever beam manufactured by micromachining of silicon.

シリコンを用いた微細機械工作により製作したカンティレバー構造を有するバッチ製造非可逆バルブ

Author (3)： TIREN J (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  TENERZ L (Uppsala Univ., Uppsala, SWE) ,  HOEK B (Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
Material： Sensors and Actuators (Lausanne)  (Sens Actuators (Lausanne))
Volume： 18  Issue： 3/4  Page： 389-396  Publication year： Jul. 1989 
JST Material Number： B0345B  ISSN： 0250-6874  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Switzerland (CHE)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： cantilever beam ,...

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JST classification (2)： Fluidic control equipment  (IC02030J) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (8)： シリコン ,  微細 ,  機械工作 ,  製作 ,  カンティレバー ,  バッチ製造 ,  非可逆 ,  バルブ