Art

J-GLOBAL ID：200902000567658386   Reference number：90A0638057

The application of fine-grained, tensile polysilicon to mechanically resonant transducers.

機械的共振トランスデューサへの微細粒子の引張多結晶けい素の応用

Author (4)： GUCKEL H (Univ. Wisconsin, WI, USA) ,  SNIEGOWSKI J J (Univ. Wisconsin, WI, USA) ,  CHREISTENSON T R (Univ. Wisconsin, WI, USA) ,  RAISSI F (Univ. Wisconsin, WI, USA)
Material： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)
Volume： 21  Issue： 1/3  Page： 346-351  Publication year： Feb. 1990 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： resonator ,...

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JST classification (1)： Measuring methods and instruments of force,work load,pressure,friction  (AD05050V)

Terms in the title (6)： 共振 ,  トランスデューサ ,  微細粒子 ,  引張 ,  多結晶けい素 ,  応用