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J-GLOBAL ID：200902002285052747   Reference number：89A0586739

Theory for the etching of organic materials by ultraviolet laser pulses.

紫外レーザパルスによる有機材料のエッチングのための理論

Author (2)： SAUERBREY R (Rice Univ., Texas) ,  PETTIT G H (Rice Univ., Texas)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 55  Issue： 5  Page： 421-423  Publication year： Jul. 31, 1989 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： ultraviolet laser ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (5)： 紫外レーザ ,  パルス ,  有機材料 ,  エッチング ,  理論