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J-GLOBAL ID：200902002889401510   Reference number：91A0955527

Special issue : the micromachine.An introduction.Significance of the micromachine technology and its prospect.

特集 マイクロマシン 緒言 マイクロマシン技術の意義とその展望
Author (1)：
NAKAJIMA NAOMASA

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(東大 工)

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Material：
日本の科学と技術

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Volume： 32  Issue： 263  Page： 18-23  Publication year： Nov. 1991 
JST Material Number： F0272A  ISSN： 0029-0327  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)
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Electronic engineering in general 
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