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J-GLOBAL ID：200902004290465173   Reference number：88A0081122

Optical storage and recording and sensor technology. The technology for measurement in clean room. The technology for fine particle measurement by the laser dust monitor.

光記憶・記録とセンサ技術 クリーンルーム内の計測技術 レーザダストモニタによる微粒子計測技術

Author (2)： HORAI IZUMIO (日立電子エンジニアリング) ,  YAMAMOTO HOZUMI (日立電子エンジニアリング)
Material： センサ技術  (Sensor Technology (Tokyo))
Volume： 8  Issue： 2  Page： 77-81  Publication year： Jan. 1988 
JST Material Number： S0554B  ISSN： 0285-5348  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： clean room ,...

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JST classification (1)： Air purification  (PC02060X)

Terms in the title (6)： センサ技術 ,  クリーンルーム ,  計測技術 ,  レーザ ,  ダストモニタ ,  微粒子