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J-GLOBAL ID：200902005191440181   Reference number：90A0283505

Characteristic evaluation of thin films by scratch tests.

引っかき(スクラッチ)試験による薄膜の特性評価

Author (3)： ITO YOSHIYASU (東芝 重電技研) ,  SAITO MASAHIRO (東芝 重電技研) ,  KASHIWAYA HIDEO (東芝 重電技研)
Material： 機械の研究  (Science of Machine)
Volume： 42  Issue： 3  Page： 377-383  Publication year： Mar. 1990 
JST Material Number： F0147A  ISSN： 0368-5713  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： film thickness ,...

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JST classification (1)： Material testing  (HB02020U)

Terms in the title (4)： スクラッチ ,  試験 ,  薄膜 ,  特性評価