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J-GLOBAL ID：200902008921396263   Reference number：83A0319270

高真空における蒸発粒子のイオン化

Author (3)： KAWASHIMO YASUSHI (神港精機) ,  NAKASONE MASAMI (神港精機) ,  SUZUKI AKIRA (神港精機)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 26  Issue： 5  Page： 511-515  Publication year： May. 1983 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： high vacuum ,...

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JST classification (1)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Reference (8)：

• 1) D. M. Mattox : Electrochem. Technol., Sept. Oct. (1964) 295.
• 2) 村山, 柏木, 知久 : 第34回応用物理学会学術講演会予稿集. (1973秋) 17p-B-16.
• 3) 高木, 山田, 九里, 小陰山 : 第20回応用物理学会学術講演会予稿集. (1973春) 31a-N-10.
• 4) 松原 : 真空6 (1973) 200.
• 5) 鶴岡, 梅津, 小宮 : 第34回応用物理学会学術講演会予稿集. (1973秋) 18a-S-13.

Terms in the title (3)： 高真空 ,  蒸発 ,  イオン化